FLUORO 福乐伯努利夹头可以用于垂直放置的晶片吗？

FLUORO 福乐 BC 系列伯努利夹头依靠气流压差产生吸附力，标准机型不支持 90° 垂直悬吊晶片作业。伯努利产生的吸附力只作用于夹头与晶片之间的法线方向，晶片竖直摆放时，重力沿晶片平面向下，气流悬浮本身没有侧向夹持力，仅依靠导向挡块做边缘限位，垂直姿态下很容易出现晶片滑脱、掉落风险。

手柄 90° 角度和晶片垂直的区别

BC 系列提供 20°、45°、90° 三种手柄固定倾角，这里的 90° 指手柄弯折角度，不等于晶片可以竖直垂直悬吊。手柄 90° 款式依旧要求晶片盘面尽量贴近水平，仅操作手柄弯折，用来适配机台狭小空间取料，不能将晶片立起来垂直抓取。

倾斜工况允许范围

标准产品适合水平、小角度倾斜转运，推荐晶片倾斜角度控制在 45° 以内。小倾斜状态，导向销可以分担部分晶片自重，配合稳定供气，能够安全完成搬运。倾斜角度越大，导向挡块承受的晶片重力载荷越高，薄晶圆、大尺寸晶圆的滑脱风险成倍上升。

如果项目确实需要垂直晶片

1. 标准 BC 系列不能直接用于晶片垂直悬吊，强行使用极易造成晶圆碎裂报废。

2. 方案一：增加外部侧边机械限位工装，依靠机械结构承受晶片侧向重力，伯努利只负责提供悬浮力，避免晶片贴到夹头盘面；该方案需要重新评估整体机构，做实际工况验证。

3. 方案二：向原厂做特殊定制，改造喷流结构与边缘限位结构，专门适配垂直晶片作业，定制款耗气量、悬浮力参数会发生改变。

实操使用重要提醒

1. 薄晶圆（50‑300μm）自重小，但脆性，尽量维持接近水平姿态搬运，减少倾斜角度。

2. 供气气压必须稳定，配置储气缓冲罐；气压波动会直接造成悬浮间隙变化，倾斜工况下风险进一步放大。

3. 作业时观察透明导向环，肉眼确认晶片居中悬浮，晶片偏移会和导向销大力摩擦，造成崩边。

4. 从晶圆盒取放垂直存放的晶片，取出后尽快将晶片恢复接近水平姿态，不要长时间保持大倾斜状态转运。

典型适用场景

切割、检测工序，接近水平姿态下 2‑12 英寸薄晶圆、双面图形晶圆非接触转运。