现货！杜绝静电损伤晶圆！FLUORO 福乐 C001‑X‑96‑CP 真空吸笔

产品概述

FLUORO 福乐 C001‑X‑96‑CP 防静电真空吸笔属于 C 系列 ESD 无尘吸取工具，专门针对6 英寸半导体硅晶圆手动取放转运开发，是半导体无尘车间内非常常用的手动晶圆搬运工具。依靠外接负压气源实现吸附作业，主要用于晶圆盒取料、工艺抽检、实验室研发小试、镀膜后硅片周转搬运；万向旋转接头的结构，在晶圆盒狭小内部空间操作更加顺手，该型号目前现货库存，原装日本进口可直接出货。

型号释义

• C001：C 系列基础笔身本体，NC 常闭阀门，按压开启真空吸附，松开即释放工件

• X：万向球形旋转接头，吸嘴可多角度偏转摆动

• 96‑CP：6 英寸晶圆专用导电 PEEK 宽幅吸嘴

核心产品特点

1. 完整 ESD 防静电防护，杜绝静电损伤晶圆笔身为碳纤维复合导电尼龙材质，配套的 96‑CP 吸嘴采用导电 PEEK；整体表面电阻率维持 10⁶‑10⁸Ω，形成连续静电泄放通路。作业时可以及时释放人体与工具产生的静电荷，避免硅片表面电路、光刻胶层发生静电击穿损坏，满足半导体车间 ESD 管控标准。

2. 低发尘阀腔，适配高洁净制程阀体内部采用氟树脂阀芯，无外露金属弹簧；内壁做镜面处理，不易积存粉尘碎屑。低析出、低发尘的结构，适合百级、千级无尘室使用，搬运镀膜、光刻后的晶圆时，有效降低颗粒沾污带来的产品不良。

3. 万向球形接头，狭小空间灵活作业X 万向球形接头支持吸头多角度偏转；从晶圆片盒深处拾取晶圆时，手腕不需要大幅度扭转，就可以让吸嘴完整贴合晶圆表面，改善长时间手持操作的疲劳感。

4. 模块化快拆结构，耗材单独更换本体与吸嘴采用螺纹拆装结构；当吸嘴出现磨损之后，只需要更换 96‑CP 吸嘴耗材，无需更换整支笔身，降低长期使用采购成本。本体也可以换装其它规格 CP 系列吸嘴，兼容多种尺寸薄片工件。

5. 柔和负压吸附，保护晶圆表面外接真空负压源，负压可在 0~‑80kPa 区间进行调节；宽幅平面 PEEK 吸嘴与晶圆的接触面积大，吸附作用力均匀分散，不会在硅片镜面、光刻胶表面留下压痕、划痕，实现晶圆无损拾取。

基础技术规格

• 型号：C001‑X‑96‑CP

• 适配晶圆尺寸：6 英寸硅晶圆

• 阀门型式：NC 常闭（按压吸附，松开释放）

• 接头规格：X 万向球形旋转接头

• 笔身材质：碳纤维导电尼龙

• 吸嘴材质：导电 PEEK

• 表面电阻：10⁶‑10⁸Ω

• 整机长度：239 mm

• 整机重量：23 g

• 供气方式：外接真空负压源（可搭配 FLUORO 手动真空泵配套使用）

主要应用场景

半导体无尘车间、晶圆研发实验室、样品检测工位；用于 6 寸硅晶圆 FOUP 片盒取放、前后工序抽检、光刻与镀膜制程周转、理化测试取样；同样适用于同等尺寸静电敏感工件：玻璃基片、陶瓷薄片、光学薄板的手动拾取转运。

供货说明

FLUORO 福乐 C001‑X‑96‑CP 防静电真空吸笔，现货库存，原装日本进口；可采购整套吸笔，也可单独订购 96‑CP 吸嘴作为替换耗材。