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ULVAC爱发科HR600多级罗茨高温干式真空泵 一、产品概述 HR600 是 ULVAC HR 系列大流量旗舰型高温防腐多级罗茨干式真空泵，为 HR300 的大抽速升级机型，延续 HR 系列泵腔恒温均热、无油干式的核心设计，重点解决半导体刻蚀、CVD、ALD 等制程产生升华副产物、卤素腐蚀性气体易结晶堵泵的问题，主要用于 12 寸晶圆量产线、大腔体薄膜工艺等高负荷工况，常温洁净对标型号为 LR6
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ULVAC爱发科HR300多级罗茨高温干式真空泵 一、产品概述 HR300 是 ULVAC HR 系列大抽速高温防腐型多级罗茨干式真空泵，延续 HR 系列泵腔恒温加热设计，无油干式结构，主打高温防凝、耐卤素腐蚀，主要适配 8/12 寸晶圆产线的刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化等会产生升华副产物、轻度腐蚀性气体的重负载工艺，是 HR60、HR90 的大流量升级型号，常温洁净对标型号为 LR300。
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ULVAC爱发科HR90多级罗茨式高温干式真空泵 一、产品概述 HR90 属于 ULVAC HR 系列中型高温防腐多级罗茨干式真空泵，定位介于 HR60 与 HR300 之间，无油干式结构，搭载泵腔全域恒温均热系统。专门针对半导体刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化工艺，这类工况会产生升华性副产物、卤素类轻度腐蚀气体；依靠高温腔体避免工艺介质冷凝结晶堵泵，广泛用作 6/8 寸晶圆设备中型腔体前级
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ULVAC 爱发科HR60多级罗茨式高温干式真空泵 一、产品概述 HR60 属于 ULVAC HR 系列高温防腐型多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，核心特色为泵腔全域高温均热设计，专门面向半导体刻蚀、CVD、ALD、灰化等工艺。这类制程会产生升华性副产物、卤素类轻微腐蚀气体，高温腔体能够防止工艺介质冷凝结垢堵泵；区别于 LS 洁净螺杆泵、MS 工艺螺杆泵，HR 系列主打恒温防凝工艺场景，多用于
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ULVAC 爱发科 LS1200A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS1200A 是 ULVAC LS 系列大型清洁型螺杆干式真空泵，拥有 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种配置，无油干式结构，搭载爱发科自研 ECO‑SHOCK 节能系统，属于 LS 系列大抽速旗舰机型。主打高效节能、洁净抽气，适配少粉尘、无强腐蚀气体的大型真空产线，广泛用作大型镀膜设备、Load Lock 腔体、高产能真
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