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ESR200W 优惠代理厂商性质
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*EBARA 荏原ESR200W 洁净罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 30000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 代表标准洁净腔体，无油结构避免碳氢污染，变频调速搭配怠速节能功能，机身紧凑低振动，专为无腐蚀大流量真空工艺打造，作为大型分子泵配套前级干泵，多用于半导体大型锁仓、PVD 溅射、平板显示真空腔体。
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ESR100WN优惠代理厂商性质
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*EBARA荏原ESR100WN耐蚀罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 10000~20000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。WN 版本腔体采用镍抗蚀合金，内置多路氮气吹扫保护，无油设计杜绝碳氢污染，变频调速搭配怠速节能模式，专为含腐蚀性气体的中重载真空工艺设计，常作为大型分子泵前级干泵，用于半导体刻蚀、大型 PVD、离子注入等严苛制程。
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ESR80WN优惠代理厂商性质
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进口EBARA荏原ESR80WN耐蚀罗茨干式真空泵泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 4000~10000L/min，水冷结构，进气法兰 NW100。WN 版本腔体采用镍抗蚀合金材质，内置多路氮气吹扫保护，无油设计杜绝碳氢污染，变频调速搭配怠速节能模式，专门应对含卤素、水汽等腐蚀性气体工况，常作为大型分子泵前级干泵，用于半导体刻蚀、腐蚀型 PVD 等严苛真空制程。
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ESR80W优惠代理厂商性质
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日本EBARA荏原ESR80W洁净型罗茨干式真空泵本 EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 4000~8500L/min，水冷结构，进气法兰 NW100。W 代表水冷标准洁净腔体，无油结构，变频可调转速，自带空转节能模式，适配洁净中负载真空工艺，常作为大型分子泵前级泵，多用于半导体 PVD、离子注入、大型 Load-Lock 锁仓等无腐蚀真空制程
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ESR30N优惠代理厂商性质
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EBARA荏原ESR30N 耐蚀型罗茨干式真空泵日本 EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 3000L/min，水冷结构，进气法兰 NW50。N 代表标准防腐材质，无油结构，搭载变频怠速节能功能，兼顾抽气性能与轻度腐蚀工况，常作为分子泵配套前级干泵，适合半导体锁仓、PVD、灰化等带轻微腐蚀性气体的真空工艺。
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