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SDX600-厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SDX600螺杆干式真空泵最大抽速 10000L/min，水冷结构，外形尺寸 695×285×850mm。SDX 为节能标准版，自带泵体加热防凝结构，可抑制工艺副产物堆积，配备 0~80SLM 可调氮气吹扫，整机占地小巧，常作为分子泵配套前级干泵，适合半导体锁仓、PECVD、轻度腐蚀薄膜工艺长时间连续运行。
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SD系列-厂商性质
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KASHIYAMA樫山工业SD系列立式干式真空泵。独特立式螺杆结构，机身占地极小，搭配加热防凝设计，可抑制工艺副产物沉积，自带变频节能与多路氮气吹扫，无油结构杜绝碳氢污染，广泛用作分子泵前级干泵，适配刻蚀、PECVD、金属沉积等半导体连续量产真空制程。
产品型号
ESR500W(N) 优惠代理厂商性质
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EBARA荏原ESR500W(N)大抽速罗茨干式真空泵多级罗茨无油干式真空泵，抽速 46000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 为标准洁净腔体，N 可升级镍合金耐蚀腔体，一台机型兼顾洁净工艺与含卤素、粉尘的腐蚀工况；无油结构杜绝碳氢污染，搭载变频怠速节能系统，整机轻量化占地小，作为超大分子泵配套前级干泵，适配半导体超大腔体、平板显示、光伏重载真空量产线。
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ESR300W(N) 优惠代理厂商性质
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EBARA荏原ESR300W(N)超大流量干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 46000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。W 为标准洁净腔体，N 代表镍合金耐蚀腔体可选，一台泵可适配洁净工艺与轻度腐蚀两种工况；无油结构杜绝碳氢污染，变频搭配怠速节能，超大抽气量，作为超大分子泵配套前级干泵，适用于半导体超大腔体、平板显示、光伏大型真空制程。
产品型号
ESR200WN 优惠代理厂商性质
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*EBARA荏原ESR200WN防腐罗茨干式真空泵EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 30000L/min，水冷结构，进气法兰 ISO160。WN 型号腔体采用镍基耐蚀合金，搭配多路氮气吹扫保护结构，无油设计不会产生碳氢污染，变频系统支持怠速节能，可长时间稳定处理卤素、粉尘等腐蚀性工艺气体，常作为大型分子泵前级干泵，用于半导体腐蚀刻蚀、PVD、超大 Load-Lock 锁仓等高负载严苛
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