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ULVAC 爱发科 LR60 多级罗茨干式真空泵 LR60 属于 ULVAC LR 系列小型常温洁净型水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。专为半导体、光电 PVD 设备开发，主打洁净空气、氮气抽取，适配镀膜 Load Lock 腔体频繁破空循环抽气场景；可作为涡轮分子泵前级泵。 ⚠️ 不适合含有卤素腐蚀气体、大量升华结晶物的刻蚀 / CVD 工艺，腐蚀工艺请选用 HR60 高
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ULVAC爱发科ES4A干式真空泵节能装置 ES4A 属于 ULVAC ECO-SHOCK 系列中小型多级罗茨干式真空泵节能附属装置，不属于真空泵主机，串联安装于干泵排气管道使用。专为 LR、GR、HR 系列中小型常温罗茨干泵开发，尤其适配镀膜 Load Lock 腔体频繁破空循环抽气工况；真空长期稳定在 1000Pa 以下时实现显著节电，同时抑制泵体温升、平稳排气脉动、降低排气噪音。
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ULVAC爱发科ES10干式真空泵节能装置 ES10 属于 ULVAC ECO-SHOCK 系列中大流量干式真空泵节能附属装置，不属于真空泵主机，串接在多级罗茨干泵排气管路使用。专为 LR、GR、HR 系列中大型常温罗茨干泵开发，在腔体长期维持 1000Pa 以下稳态工况实现显著节电，同时优化排气脉动、降低泵体发热与排气噪音；仅适合空气、氮气、氩气等洁净惰性气体。
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ULVAC 爱发科 RS-03 干式真空泵排气消音器 RS-03 是 ULVAC RS 系列重载超大流量多级罗茨干式真空泵专用排气消音器，属于 RS 系列旗舰规格，SUS304 不锈钢筒体，KF 卡箍快装结构。不属于真空泵主机，为干泵配套配件，分为套件 A、套件 B，专门适配 LR421、LR3601 大型重载罗茨干泵；兼顾排气导流、抑制排气脉动噪音，多用于大型半导体、真空热处理等高产能量产设备。
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ULVAC 爱发科 RS-02 干式真空泵排气消音器 RS-02 是 ULVAC RS 系列中大型多级罗茨干式真空泵专用排气消音器，为 RS-01 升级大流量规格，不锈钢筒体结构，通过 KF/NW 卡箍直接安装于真空泵排气口，有效抑制干泵高频排气噪音。分为套件 A、套件 B，适配中大抽速 LR、GR 系列罗茨干泵，多用于镀膜产线、大型真空设备降噪改造。
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