产品简介：SD 系列为日本樫山工业立式螺杆干式真空泵，专为半导体严苛工艺打造，X 为节能标准版，T 为重载耐蚀款，H 是高抽速机型。独特立式螺杆结构，机身占地极小，搭配加热防凝设计，可抑制工艺副产物沉积，自带变频节能与多路氮气吹扫，无油结构杜绝碳氢污染，广泛用作分子泵前级干泵，适配刻蚀、PECVD、金属沉积等半导体连续量产真空制程。

产品特点

立式螺杆紧凑机身，相比同抽速机型占地面积大幅缩减，方便机台内部集成，设备布局更灵活。
温控加热防沉积设计，泵体维持稳定高温，防止反应副产物凝结附着，减少泵体堵塞，延长保养周期。
无油干式真空结构，腔体内部不含润滑油，无返油污染风险，保障晶圆与真空腔体洁净。
变频节能控制，可根据腔体负载动态调节转速，待机降低功耗，长期量产运行省电。T 型号强化防腐，适配含卤素、粉尘的强腐蚀工况。
智能监测保护系统，自带氮气吹扫模块，压力、温度、过载实时监控，故障报警与信号输出，支持对接工厂自动化；满足 SEMI-S2、CE 安全规范。
适用范围
半导体刻蚀、PECVD、金属 CVD、ALD 薄膜沉积；Load-Lock 晶圆锁仓；FPD 平板显示、光伏真空工艺；MEMS、带粉尘及腐蚀性气体的工业真空系统。
标准配件
干泵主机；可选配件：控制器、氮气吹扫组件、报警采集模块、原厂维修备件包。
KASHIYAMA樫山SDX1200立式耐蚀无油螺杆干泵KASHIYAMA樫山SDX1200立式耐蚀无油螺杆干泵
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KASHIYAMA樫山SDX1200立式耐蚀无油螺杆干泵

型号*1		SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000 *5	SDH6000 *5
最大排气速度 [升/分钟] 2 6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
电源电压（50/60Hz）		三相交流200~220V *7
N2流量[ SLM ]		0-80						0-120
冷却水流量[升/分钟]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗 [kW] *3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm] *4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

*1) SDX 节能型，适用于严苛工艺环境；SDT/SDH 耐工艺型，适用于超严苛工艺环境。*2) 无加热器
规格，数值指不使用氮气吹扫时的值。*3) 最佳运行状态下的近似功耗。*4) 封装尺寸。详细尺寸请索取外观图纸。
*5) 我们还有一系列耐工艺性能更佳的产品，请联系我们的销售代表。*6) 最大排气速度为近似值。
*7) 如有其他电源要求，请另行联系我们。*请咨询兼容气体类型。