产品型号
SDE200 -厂商性质
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KASHIYAMA 樫山 SDE200 中型螺杆干式真空泵日本 KASHIYAMA 樫山工业螺杆式无油干式真空泵，最大抽速 3300L/min，极限真空 1.3Pa，水冷结构。搭载泵体加热防凝系统，配套氮气吹扫，抑制工艺副产物沉积，无油结构不会造成碳氢污染，变频驱动运行稳定，常作为分子泵配套前级真空泵，适合半导体中型锁仓、薄膜沉积、低粉尘工艺连续量产使用。
产品型号
SDE120TX-厂商性质
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40产品描述
KASHIYAMA樫山SDE120TX小型耐蚀螺杆真空泵最大抽速 1500L/min，水冷结构。TX 为耐蚀重载版本，泵腔做防腐强化处理，搭配泵体加热防凝与氮气吹扫，抵御水汽、卤素、工艺粉尘沉积，无油结构无油污污染，变频驱动运行稳定，用作小型分子泵配套前级真空泵，适合半导体小型刻蚀、MEMS 腐蚀工艺等场景。
产品型号
SDE90X-厂商性质
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54产品描述
KASHIYAMA樫山SDE90X小型螺杆干式真空泵最大抽速 1300L/min，水冷结构。SDE90X 为 X 标准节能款，采用专用螺杆转子，泵体恒温加热搭配氮气吹扫，抑制副产物沉积，无油结构杜绝碳氢污染，机身紧凑，常用作小型分子泵前级真空泵，适配半导体锁仓、分析仪器、MEMS 研发等洁净中小型真空工艺。
产品型号
SDE 系列 -厂商性质
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KASHIYAMA 樫山SDE系列节能螺杆干式真空泵采用优化螺杆转子，抗工艺副产物沉积，泵体温控加热搭配氮气吹扫保护，变频系统兼顾节能与稳定输出；无油结构消除碳氢污染，多型号覆盖从小流量到大抽速，用作分子泵前级真空泵，广泛适配半导体薄膜、刻蚀、Load-Lock 锁仓、MEMS、光伏与平板显示真空产线。
产品型号
SDH6000 *5厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDH6000大流量螺杆真空泵最大抽速 100000L/min，水冷结构。SDH 为高耐久加强款，配备泵体恒温加热防凝装置，搭配大流量氮气吹扫，降低工艺粉尘、副产物凝结堆积风险；无油设计不会产生碳氢污染，变频系统支持长时间稳定量产，用作大型分子泵前级真空泵，适用于半导体薄膜工艺、大容积晶圆锁仓、轻度腐蚀真空产线。
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