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ULVAC 爱发科 LR300 多级罗茨干式真空泵LR300 属于 ULVAC LR 系列中大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。依托全域均热泵体设计，规避频繁抽放真空产生水汽凝结；主打 8 寸晶圆、中小尺寸面板、中型光电镀膜设备 Load Lock 腔体循环抽气。仅抽取空气、氮气、氩气等洁净惰性气体；严禁用于卤素腐蚀气体、大量黏性升华物的 CVD / 刻蚀工艺，
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ULVAC 爱发科 LR421-T 多级罗茨干式真空泵 型号：LR421-T（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速 440m³/h（7333L/min）；60Hz 最大抽速 440m³/h； 极限压力≤1.0Pa； 电机供电：三相 AC200～240V / AC380～460V 50/60Hz； 冷却方式：水冷，冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小冷却水流量≥5.0L/min； 轴封标准密封
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ULVAC 爱发科 LR421 多级罗茨干式真空泵 LR421 属于 ULVAC LR 系列超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，配套变体型号 LR421-T，二者泵体性能一致，供电规格区分。无油干式结构，无泵腔高温加热系统，搭载低温区域均热化技术，均衡泵体温度，抑制水汽凝结；专为高产能 PVD 镀膜、12 寸半导体量产设备 Load Lock 大腔体开发，承受腔体频繁破空、循环抽气。
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ULVAC 爱发科 LR180 多级罗茨干式真空泵 LR180 属于 ULVAC LR 系列中大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。 严禁用于含有卤素腐蚀气体、大量黏性升华结晶物的刻蚀 / CVD/ALD 工艺，腐蚀工艺选型 HR300 高温款。
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ULVAC 爱发科 LR90 多级罗茨干式真空泵 LR90 属于 ULVAC LR 系列中型常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。依托成熟罗茨架构，主打泛半导体、光电行业洁净真空工况，常作为中型溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 腔体前级真空泵，承受腔体频繁破空、循环抽气；仅适合空气、氮气等洁净气体；严禁用于含有大量升华物、卤素腐蚀气体的刻蚀、CVD、ALD 工艺，
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