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ULVAC爱发科LR3601-T (TT)干式真空泵 LR3601-T、LR3601-TT 属于 ULVAC LR 系列旗舰超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔内置加热系统，搭载全域低温均热技术。 LR3601-T：宽电压标准机型，适配国内 380V 厂房产线； LR3601-TT：T 机型升级重载优化版本，轴承、密封强化，适合长期 24h 不间断高负荷量产。
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ULVAC 爱发科 LR3601 罗茨干式真空泵型号：LR3601（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速：3200m³/h（53333 L/min） 极限压力：≤0.67Pa 供电规格：三相 AC200V / AC380～460V 50/60Hz（区分后缀型号） 冷却方式：水冷；冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小流量≥5.0L/min 标准轴封氮气流量：5SLM 吸气口法兰：ISO-F
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ULVAC 爱发科 LR1800 罗茨干式真空泵型号：LR1800（多级罗茨干式真空泵） 50Hz 最大抽速：1701m³/h（28350 L/min） 60Hz 最大抽速：1784m³/h（29700 L/min） 极限压力：≤0.67Pa 供电规格：三相 AC200V 50/60Hz 冷却方式：水冷；冷却水压力 0.1~0.3MPa，最小流量≥5.0L/min 标准轴封氮气流量：5SLM
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ULVAC 爱发科 LR1200 罗茨干式真空泵LR1200 属于 ULVAC LR 系列超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。泵体搭载全域低温均热技术，均衡泵体温度，抑制频繁抽放真空带来的水汽结露；面向 12 寸晶圆、高世代 OLED/LCD 面板大型 PVD 镀膜 Load Lock 大腔体开发，适配腔体高频循环破空抽气工况。仅抽取空气、氮气、氩气等洁净
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ULVAC 爱发科 LR600 多级罗茨干式真空泵LR600 属于 ULVAC LR 系列大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。泵体采用全域低温均热设计，抑制反复抽放真空产生水汽结露；面向高世代面板、大型 PVD 镀膜、8~12 寸半导体设备 Load Lock 大腔体开发，承受腔体频繁破空、周期性循环抽气。仅抽取空气、氮气、氩气等洁净惰性气体；严禁用于卤素腐蚀气
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