产品型号
SDE1203TX-厂商性质
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2026-09-11浏览次数
50产品描述
KASHIYAMA樫山SDE1203TX重载耐蚀螺杆真空泵最大抽速 20000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。SDE1203TX 为重载耐蚀机型，腔体做特殊防腐涂层，配备泵体恒温加热系统与大流量氮气吹扫，有效降低卤素、工艺粉尘、水汽造成的副产物堆积；无油结构无碳氢油污污染，变频驱动稳定耐用，用作大型分子泵配套前级真空泵，适配半导体重载刻蚀、腐蚀型薄膜沉积、大容量晶圆锁仓等严苛量产场景。
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SDE603TX-厂商性质
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67产品描述
KASHIYAMA樫山SDE603TX重载耐蚀螺杆真空泵，最大抽速 10000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。SDE603TX 为重载耐蚀机型，泵腔做特殊防腐涂层处理，配备泵体恒温加热 + 可调氮气吹扫，抑制卤素、工艺粉尘、水汽造成的副产物沉积；无油螺杆结构无返油污染，变频驱动稳定可靠，作为分子泵配套前级真空泵，适配半导体刻蚀、腐蚀型薄膜沉积、带卤素气体晶圆锁仓等重载量产工艺。
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SDE603X-厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDE603X大流量节能螺杆真空泵最大抽速 10000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。SDE603X 为节能标准版，配置泵体恒温加热防凝系统，搭配可调氮气吹扫，减少工艺副产物沉积；无油螺杆结构无返油污染，变频驱动能耗低，常作为分子泵配套前级真空泵，适用于半导体中型晶圆锁仓、PECVD、ALD 薄膜沉积等洁净量产工艺。
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SDE303TX-厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDE303TX中型耐蚀螺杆真空泵最大抽速 5000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。SDE303TX 为重载耐蚀机型，腔体采用防腐涂层处理，搭配泵体恒温加热系统与可调氮气吹扫，有效抑制卤素、工艺粉尘、水汽等副产物沉积；无油结构无碳氢返油污染，变频驱动运行稳定，作为分子泵配套前级真空泵，适配半导体刻蚀、腐蚀型薄膜沉积、带卤素气体的晶圆锁仓等量产工艺。
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SDE303X-厂商性质
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48产品描述
KASHIYAMA 樫山SDE303X中型节能螺杆真空泵最大抽速 5000L/min，极限真空 0.5Pa，水冷结构。SDE303X 为节能标准版，泵体自带加热防凝结构，可搭配氮气吹扫抑制工艺副产物沉积；无油设计不存在返油污染，变频驱动能耗低，作为分子泵配套前级真空泵，多用于半导体中型锁仓、PECVD、ALD 薄膜沉积等洁净型量产工艺
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