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EBARA 荏原 EV‑M202N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M202N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：200000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M102N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M102N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：100000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、N
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EBARA 荏原 EV‑M20N 多级罗茨干式真空泵 型号：EV‑M20N 泵体结构：多级罗茨无油干式结构 防腐规格：N 型，腔体转子 Ni‑P 化学镍镀层，标准耐腐蚀 抽气速率：20000 L/min 极限真空：≤5×10⁻² Pa 冷却方式：水冷 供电：三相 AC200‑460V 50/60Hz 通讯：RS485 接口，温度监控、报警历史记录、远程状态读取 认证：SEMI‑S2、CE、NRTL
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ULVAC爱发科LR3601-TR罗茨干式真空泵LR3601-TR 属于 ULVAC LR 系列宽电压高压强化型旗舰超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。 后缀释义： T = 宽电压三相电机（适配国内 AC380V 厂房供电） R = 高压段抽速优化，提升大气压→中真空粗抽能力
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ULVAC 爱发科 LR3601-R罗茨干式真空泵LR3601-R 属于 ULVAC LR 系列高压段强化型旗舰超大流量常温洁净水冷多级罗茨干式真空泵，无油干式结构，无泵腔高温加热系统。 后缀含义说明： R = 高压区间抽速强化版本，针对大腔体粗抽阶段优化，缩短大气压至中真空抽气时间； 衍生型号： LR3601-R（标准三相 200V） LR3601-TR（宽电压 380V 适配国内厂房）
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