简要描述：KASHIYAMA樫山SDE120TX小型耐蚀螺杆真空泵最大抽速 1500L/min，水冷结构。TX 为耐蚀重载版本，泵腔做防腐强化处理，搭配泵体加热防凝与氮气吹扫，抵御水汽、卤素、工艺粉尘沉积，无油结构无油污污染，变频驱动运行稳定，用作小型分子泵配套前级真空泵，适合半导体小型刻蚀、MEMS 腐蚀工艺等场景。

产品简介：SDE 系列为日本樫山工业螺杆式无油干式真空泵，X 代表标准节能款，TX/N 为耐蚀重载机型。采用优化螺杆转子，抗工艺副产物沉积，泵体温控加热搭配氮气吹扫保护，变频系统兼顾节能与稳定输出；无油结构消除碳氢污染，多型号覆盖从小流量到大抽速，用作分子泵前级真空泵，广泛适配半导体薄膜、刻蚀、Load-Lock 锁仓、MEMS、光伏与平板显示真空产线。

产品特点

1. 专用螺杆转子设计，对工艺副产物、粉尘适应性强，配合泵体恒温加热，抑制反应物凝结，延长保养周期。

2. 无油干式真空结构，腔体不含润滑油，不存在返油污染，保障晶圆与真空腔体工艺洁净。

3. 多版本可选，X 标准版适配洁净工艺，TX/N 耐蚀强化版，可应对卤素、水汽等腐蚀性气体工况。

4. 变频节能驱动，根据真空负载自动调节转速，待机低功耗运行，长期量产降低电费。

5. 搭载压力、温度、过载、缺水多重连锁保护，支持总线通讯对接工厂自动化，满足 SEMI-S2、CE 安全规范。
   
   

6. 适用范围

7. 半导体 Load-Lock 晶圆锁仓、PECVD、ALD 薄膜沉积、刻蚀、PVD 溅射、灰化工艺；MEMS、LED 研发真空系统；FPD 平板显示、光伏腐蚀型真空腔体；科研腐蚀性高真空设备。

8. 标准配件

9. 干泵主机；可选配件：控制器、氮气吹扫组件、报警采集模块、原厂维修备件包
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