简要描述：EBARA荏原ESR30N 耐蚀型罗茨干式真空泵日本 EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，抽速 3000L/min，水冷结构，进气法兰 NW50。N 代表标准防腐材质，无油结构，搭载变频怠速节能功能，兼顾抽气性能与轻度腐蚀工况，常作为分子泵配套前级干泵，适合半导体锁仓、PVD、灰化等带轻微腐蚀性气体的真空工艺。

优势代理品牌

产品简介：ESR 系列是日本 EBARA 荏原多级罗茨无油干式真空泵，主打节能设计，抽速覆盖 1300~46000L/min，标配水冷结构，可选耐蚀镍合金材质版本。无油设计杜绝碳氢污染，支持转速可调、空转节能模式，体积紧凑占地小，适配半导体从轻载锁仓到腐蚀性刻蚀、溅射等中重载工艺，常作为分子泵配套前级干泵使用。

产品特点

1. 无油干式罗茨结构，全程无润滑油，避免工艺污染，洁净度满足半导体生产要求。

2. 节能变频控制，转子转速可调，搭载空转模式，降低待机功耗，长期使用运营成本低。

3. 耐蚀可选配置，WN 型号采用镍抗蚀合金，适配含腐蚀气体、粉尘的严苛制程。

4. 低振动低噪音，机身轻量化，占地面积小，设备摆放布局灵活。

5. 智能监测系统，内置压力、温度监测、故障报警，支持信号通讯接入产线控制系统；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 安全规范。

ESR 系列基础型号清单

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                                     核心技术参数

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                           适用范围

半导体 Load-Lock 锁仓、刻蚀、PVD 溅射、灰化、离子注入；SEM 扫描电镜前级真空；光伏、FPD 平板显示真空制程；含腐蚀性气体工业真空系统。

标准配件

干泵主机；可选配件：控制器、氮气吹扫组件、耐蚀腔体、报警采集模块、原厂维修备件包。

EBARA荏原ESR30N 耐蚀型罗茨干式真空泵EBARA荏原ESR30N 耐蚀型罗茨干式真空泵

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