简要描述：EBARA荏原EBT1400F陶瓷轴承复合涡轮分子泵日本 EBARA 荏原陶瓷机械轴承涡轮分子泵，氮气抽速 1100L/s，进气法兰 DN200，水冷为主。陶瓷轴承结构坚固，耐受突发大气冲击，性价比突出，支持任意姿态安装，搭配大流量干式前级泵，适用于大型镀膜、半导体腔体、大型分析仪器等高真空制程。

优势代理品牌

产品简介：EBT 系列是日本 EBARA 荏原陶瓷机械轴承型复合涡轮分子泵，和 EMT 磁悬浮分子泵形成互补，性价比高，氮气抽速覆盖 70~2400L/s。采用耐用陶瓷轴承，抗冲击能力强，支持风冷 / 水冷 / 自然冷却，可任意姿态安装，集成式控制器可选，适合分析仪器、小型镀膜、移动真空小车、半导体中小型高真空制程。

产品特点

1. 陶瓷耐磨轴承结构，机械轴承设计，成本优于磁悬浮款，抗冲击、耐受突发大气冲击，适合移动式真空设备。

2. 任意方位安装，水平、垂直、倾斜安装均可，设备集成布局灵活。

3. 多冷却可选，风扇风冷、自然冷却、水冷三种方案；进气法兰支持 ISO-K、CF 法兰。

4. 轻气体高压缩比，氢气压缩性能优秀，极限真空可达 UHV 超高真空区间；启停速度快，快速放气阀设计。

5. 集成控制器可选，内置温度、振动监测、故障报警，可对接自动化系统；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 安全规范。

EBT 系列基础型号清单

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                              核心技术参数

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                             适用范围

SEM 扫描电镜、XPS、质谱、RGA 残余气体分析仪；小型 PVD 溅射、真空镀膜；移动式真空小车、检漏设备；MEMS、科研实验室超高真空；光伏、LED 中小型真空制程。

标准配件

分子泵主机；可选配件：一体式控制器、水冷套件、氮气吹扫组件、快速放气阀、振动监测模块、原厂维修备件包。

EBARA荏原EBT1400F陶瓷轴承复合涡轮分子泵EBARA荏原EBT1400F陶瓷轴承复合涡轮分子泵

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