产品型号
厂商性质
代理商更新时间
2026-07-23浏览次数
45产品描述
ULVAC 爱发科 LS600A 螺杆式干式真空泵 、一、产品概述 LS600A 属于 ULVAC LS 系列中大型清洁型螺杆干式真空泵，拥有 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种配置，整机无油干式结构，搭载爱发科 ECO-SHOCK 节能技术。主打低能耗、洁净抽气，适合少粉尘、无强腐蚀气体的真空产线，广泛用作半导体镀膜设备、Load Lock 腔体、大型真空设备的前级真空泵，与 MS600A
产品型号
厂商性质
代理商更新时间
2026-07-23浏览次数
51产品描述
ULVAC 爱发科 LS300A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS300A 属于 ULVAC LS 系列清洁型螺杆干式真空泵，定位中型抽速机型，分为 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种规格。整机无油干式结构，主打节能稳定运行，适配少粉尘、无强腐蚀气体的洁净真空工况，广泛用作半导体 Load Lock、镀膜设备、中型真空产线的主力前级真空泵，和 MS300A 耐蚀工艺机型形成工况互补。
产品型号
厂商性质
代理商更新时间
2026-07-23浏览次数
68产品描述
ULVAC 爱发科 LS120螺杆式干式真空泵 一、产品概述 LS120A 属于 LS 系列清洁型螺杆干式真空泵，主打大抽速 + 低功耗，分为 C（洁净工艺）、L（轻度工艺）两种规格，腔体无油设计，主要适配无尘、少粉尘、无强腐蚀的真空工况，是半导体 Load Lock、镀膜、真空封装这类洁净产线的主流配套干泵，和 MS120A 工艺耐腐款形成工况区分
产品型号
厂商性质
代理商更新时间
2026-07-23浏览次数
50产品描述
ULVAC 爱发科 MS1200A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 MS1200A 是爱发科 MS 系列大抽速工艺型螺杆干式真空泵，为 MS120A、MS600A 的大流量升级款，延续 MS 系列耐粉尘、抗轻度腐蚀的核心定位，无油干式结构设计，专门适配产生大量工艺粉尘、微量腐蚀性气体、可凝水汽的中大型真空产线，是泛半导体、大型锂电产线、真空热处理等高负荷工况的主力抽气设备。
产品型号
厂商性质
代理商更新时间
2026-07-23浏览次数
53产品描述
ULVAC 爱发科 MS600A 螺杆式干式真空泵 一、产品概述 MS600A 是 ULVAC 爱发科 MS 系列工艺型螺杆干式真空泵，延续 MS 系列耐粉尘、耐腐蚀的产品定位，相比 MS120A 拥有更大抽气能力，专为产生工艺粉尘、轻微腐蚀性气体、可凝蒸汽的中大型真空产线设计。无油干式结构，避免油品污染工艺腔体，广泛配套泛半导体、锂电池、等离子工艺、真空热处理设备。
相关文章
