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SDX1800-厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDX1800大流量节能干式真空泵立式螺杆无油干式真空泵，最大抽速 50000L/min，水冷结构，外形尺寸 1050×515×950mm。SDX 为节能标准版，泵体自带加热防凝结构，配置 0~80SLM 可调氮气吹扫，无油结构杜绝碳氢污染，变频系统可按需调速，适合大容积洁净真空工艺，常作为大型分子泵配套前级干泵，用于半导体大型锁仓、PECVD、ALD 薄膜沉积等产线
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SDT600-厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDT600强腐蚀螺杆干式真空泵本 KASHIYAMA 樫山工业立式螺杆无油干式真空泵，最大抽速 18000L/min，水冷结构。SDT 为重载耐蚀款，腔体做防腐强化处理，搭载泵体加热防凝结构，配置大流量氮气吹扫，可减少卤素、粉尘类副产物沉积，无油结构不会产生碳氢污染，变频驱动运行稳定，常作为分子泵配套前级干泵，用于半导体刻蚀、腐蚀型 PVD 等严苛量产制程。
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SDT1200-厂商性质
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KAKASHIYAMA 樫山SDT1200重载耐蚀螺杆干泵日本 KASHIYAMA 樫山工业立式螺杆无油干式真空泵，最大抽速 30000L/min，水冷结构。SDT 为重载耐蚀版本，腔体表面做防腐强化，搭载泵体加热防凝系统，可大流量氮气吹扫，有效应对卤素、粉尘等腐蚀副产物堆积，无油结构无碳氢污染，变频运行稳定，作为分子泵前级干泵，多用于半导体刻蚀、腐蚀型 PVD 等严苛量产工艺。
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SDT1200厂商性质
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KASHIYAMA樫山SDX1200立式耐蚀无油螺杆干泵最大抽速 30000L/min，水冷结构。SDT 为重载耐蚀版本，腔体表面做防腐强化，搭载泵体加热防凝系统，可大流量氮气吹扫，有效应对卤素、粉尘等腐蚀副产物堆积，无油结构无碳氢污染，变频运行稳定，作为分子泵前级干泵，多用于半导体刻蚀、腐蚀型 PVD 等严苛量产工艺。
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SDX600-厂商性质
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53产品描述
KASHIYAMA樫山工业SDX600螺杆干式真空泵最大抽速 10000L/min，水冷结构，外形尺寸 695×285×850mm。SDX 为节能标准版，自带泵体加热防凝结构，可抑制工艺副产物堆积，配备 0~80SLM 可调氮气吹扫，整机占地小巧，常作为分子泵配套前级干泵，适合半导体锁仓、PECVD、轻度腐蚀薄膜工艺长时间连续运行。
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