简要描述：ULVAC 爱发科 GR60A多级罗茨干式真空泵 GR60A 属于 ULVAC GR 系列通用工业型多级罗茨干式真空泵，依托成熟的 LR/HR 平台技术简化开发，主打通用洁净工况、高负载反复抽气场景

一、产品概述

二、核心产品特点

1. 高压力区间持续稳定抽气

   在大气压至中真空区间抽速表现优异，适合腔体频繁破空、反复抽真空的高负载工况，有效缩短腔体抽气时间，提升设备周转效率。

2. 洁净无油干式结构

   真空压缩腔体不含润滑油，杜绝油蒸汽返流污染工件，满足镀膜、精密器件生产的洁净真空需求。

3. 结构简洁，运维便捷

   机械结构经过简化优化，故障率低；转子无接触运转，磨损更小，适合工厂长期连续运行；可选防爆电机适配特殊工况。

4. 标配轴封氮气密封设计

   可通入少量密封氮气，阻挡水汽、轻微挥发性介质侵入轴承部位，拓展适用工况范围。

5. 水冷散热，运行平稳低噪

   一体化水冷结构，温度控制稳定，抑制泵体温升；整机振动小，适配车间长时间不间断生产。

三、详细性能参数

四、典型应用场景

1. 泛半导体 / 光电行业：溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 进出料腔体前级抽气；

2. 通用工业真空：真空干燥、真空脱泡、真空气体置换、真空检漏设备；

3. 科研实验室：洁净真空腔体、材料热处理、真空测试平台配套；

4. 新能源行业：洁净工况电芯真空烘烤、物料脱气工序。

五、选型区分对照

• GR60A：通用工业罗茨干泵，常温无加热，适合洁净气体、频繁破空抽气；不适合大量升华物、强腐蚀卤素工艺；

• HR60：半导体高温工艺款，自带腔体恒温加热，防止副产物结晶堵泵，适配刻蚀、CVD；

• LR60：半导体洁净常温罗茨泵，偏向晶圆设备洁净腔体；

• MS120A：螺杆工艺干泵，擅长排出粉尘，结构形式与罗茨泵不同。

六、可选配套配件