简要描述：ULVAC爱发科HR1200多级罗茨高温干式真空泵
一、产品概述
HR1200 是 ULVAC HR 系列超大流量高温防腐多级罗茨干式真空泵，为 HR600 的升级大抽速机型，属于 HR90 主机搭配 PRC-012A 机械增压泵的组合式干泵。延续 HR 系列标志性泵腔全域高温均热、无油干式架构，专门应对 12 寸晶圆、高世代面板产线刻蚀、CVD、ALD、等离子灰化工艺；针对制程产生升华副产物、卤

二、核心产品特点

1. 泵体全域高温恒温，长效抑制结晶堵塞

   整机腔体维持稳定高温区间，工艺产生的卤化物、升华粉末全程保持气态排出，避免转子、泵壳内壁结垢卡泵，大幅延长连续量产周期，降低停机拆机清垢频次。

2. 耐蚀密闭屏蔽电机结构

   转子、泵腔壳体采用专项耐蚀表面处理，耐受氟、氯类腐蚀性工艺气体；搭载屏蔽电机 + 轴封氮气 / 氦气密封吹扫，阻挡腐蚀性介质侵入轴承与电机内部。

3. 产线级断电防护与智能通讯

   内置 1000ms 瞬时停电保护，抵御电网短时波动，防止工艺废气回流损坏泵体；支持工业通讯协议，可远程采集运行电流、腔体温度、故障告警日志，适配工厂自动化集中管控。

4. 干式无油洁净抽气

   真空压缩腔体不含润滑油，杜绝油蒸汽返流污染晶圆、光学基板，满足半导体、显示面板高洁净工艺标准。

5. 大流量多级罗茨稳压抽气

   容积式多级压缩结构，中低真空区间抽速稳定；适配大型腔体动态压力波动工况，适合高产能连续制造产线。

三、详细性能参数

运行注意：建议在 200Pa 以下工况持续运行。

四、典型应用场景

1. 泛半导体晶圆制造：12 寸量产线大型干法刻蚀、大容量 CVD/ALD 设备、批量等离子灰化去胶前级真空抽气；

2. 显示面板行业：8.5 代及以上大尺寸 OLED/LCD 面板刻蚀、薄膜沉积工艺废气抽取；

3. 新能源与特种真空制程：存在大量可凝升华物、微量卤素腐蚀气体的大型真空工艺；

4. 中试科研平台：半导体工艺中试线、超大腔体真空试验系统配套。

五、选型区分说明

• HR1200：高温工艺款，自带腔体加热防结晶结构，适配带腐蚀、易产生升华沉积物的重负载半导体量产工况；

• LR1200：常温洁净罗茨干泵，无高温加热结构，仅适合无尘、无冷凝副产物的洁净真空场景；

• MS/LS 螺杆系列：螺杆结构擅长普通粉尘排出，无高温均热设计，不适合大量升华型工艺副产物工况；

• HR60/HR90/HR300/HR600：小、中、中大抽速档位，HR1200 面向超大腔体、高产能产线选型。

六、可选配套配件