简要描述：ULVAC爱发科HR600多级罗茨高温干式真空泵
一、产品概述
HR600 是 ULVAC HR 系列大流量旗舰型高温防腐多级罗茨干式真空泵，为 HR300 的大抽速升级机型，延续 HR 系列泵腔恒温均热、无油干式的核心设计，重点解决半导体刻蚀、CVD、ALD 等制程产生升华副产物、卤素腐蚀性气体易结晶堵泵的问题，主要用于 12 寸晶圆量产线、大腔体薄膜工艺等高负荷工况，常温洁净对标型号为 LR6

二、核心产品特点

1. 泵体全域高温控温，长效防结晶堵塞

   泵腔维持稳定高温环境，让工艺生成的卤化物、升华性粉尘保持气态随气流排出，避免内壁结垢、转子卡滞，大幅拉长连续生产周期，降低停机清垢维保频率。

2. 强化耐蚀与轴封防护

   转子、泵腔壳体做专属耐蚀表面处理，耐受氟、氯类轻度腐蚀工艺气体；轴封配备氮气 / 氦气密封吹扫结构，阻挡腐蚀性介质侵入轴承、电机内部。

3. 产线级运行保护

   内置瞬时断电防护，抵御电网短时波动，避免工艺废气回流损伤泵体；支持工业通讯协议，可远程采集运行电流、腔体温度、故障告警信息，对接工厂自动化管控系统。

4. 干式无油洁净抽气

   真空压缩腔体无润滑油循环，杜绝油蒸汽返流污染晶圆、精密工件，满足半导体工艺洁净标准。

5. 多级罗茨大流量稳压抽气

   容积式多级压缩结构，中低真空区间抽速表现稳定，可从大气压连续运转限真空，适配制程压力频繁波动的量产场景。

三、详细性能参数

四、典型应用场景

1. 泛半导体晶圆制造：12 寸产线干法刻蚀、大容量 CVD/ALD 设备、批量等离子灰化去胶的前级真空抽气；

2. 显示 / 光伏产业：大尺寸面板刻蚀、光伏大腔体薄膜沉积工艺废气抽取；

3. 中试与特种制程：伴随大量可凝升华物、微量卤素腐蚀气体的大型真空工艺排气；

4. 大型科研真空平台：半导体工艺中试线、大腔体真空试验系统配套。

五、选型区分说明

• HR600：高温工艺款，自带腔体加热防结晶结构，适配带腐蚀、易结垢的重负载半导体量产工况；

• LR600：常温洁净罗茨泵，无加热结构，仅适用于无尘、无冷凝副产物的洁净真空场景；

• MS/LS 全系列螺杆泵：螺杆结构侧重普通粉尘排出，无高温防凝设计，无法应对大量升华型工艺副产物；

• HR60/HR90/HR300：为小、中、中大抽速档位，HR600 面向大腔体、高产能产线选型。

六、可选配套配件