简要描述：ULVAC爱发科GR90A多级罗茨干式真空泵
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机

一、产品概述

二、核心产品特点

1. 高压区间高负荷稳定抽气

   在大气压至中真空区间抽气性能优异，能够承受腔体频繁破空、循环抽气工况，有效缩短腔体抽气时长，提升设备周转效率。

2. 洁净无油干式真空结构

   真空压缩腔体不含润滑油，杜绝油蒸汽返流污染工件，满足镀膜、精密元器件生产的洁净工艺需求。

3. 结构可靠，运维成本低

   转子非接触式运转，机械磨损小；整机结构简化优化，故障率低，支持工厂长时间不间断连续运行；可按需选配防爆电机，适配特殊防爆工况。

4. 标配轴封氮气密封防护

   可通入氮气作为轴封密封气，阻挡水汽、少量挥发性介质侵入轴承与电机内部，拓宽适用工况范围。

5. 水冷恒温散热，运行平稳低噪

   一体化水冷散热设计，有效控制泵体温升；整机振动小、噪音低，适配厂房量产环境。

三、详细性能参数

四、典型应用场景

1. 泛半导体 / 光电行业：溅射、蒸发镀膜设备 Load Lock 进出料腔体前级抽气；

2. 通用工业真空：中型腔体真空干燥、真空脱泡、罐体气体置换、真空检漏设备；

3. 科研实验室：洁净真空腔体、材料热处理、中型真空测试平台配套；

4. 新能源行业：洁净工况电芯真空烘烤、物料脱气工序。

五、选型区分对照

• GR90A：通用工业常温罗茨干泵，无腔体加热；适合洁净气体、频繁破空抽气；不适用含有大量升华物、卤素腐蚀气体的刻蚀 / CVD 工艺；

• HR90：半导体高温工艺款，自带腔体恒温加热，防止副产物结晶堵塞，适配刻蚀、CVD、ALD 等腐蚀工艺；

• LR90：半导体洁净常温罗茨泵，面向晶圆设备洁净腔体；

• MS120A：螺杆工艺干泵，擅长排出粉尘，结构形式与罗茨泵不同。

六、可选配套配件