品牌	ULVAC/日本爱发科	价格区间	2万-3万
仪器种类	螺杆泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	医疗卫生,化工,生物产业,电子/电池,半导体

ULVAC 爱发科 LS300A 螺杆式干式真空泵ULVAC 爱发科 LS300A 螺杆式干式真空泵

二、核心产品特点

ECO‑SHOCK 节能技术（C 规格）
洁净款搭载自研节电系统，极限真空状态功耗大幅降低，长期连续运行有效节约电费；大气压区间抽速表现优异，缩短腔体抽气耗时，提升设备稼动率。
洁净无油真空输出
泵腔内部不含润滑油，杜绝油蒸汽返流污染工件，满足晶圆、光学元器件、精密镀膜等高洁净生产要求。
全压力区间连续稳定运转
支持从大气压直接持续抽到极限真空，无需旁路切换；L 规格标配氮气吹扫接口，通入吹扫气能够抑制水汽凝露，减少挥发性沉积物附着。
水冷一体化结构，运行噪音低
整机采用水冷散热方案，内置排气消音装置，运行噪音≤61dB (A)，适配厂房长时间不间断生产环境。
模块化易维护结构
轴承、密封件、吹扫管路支持模块化拆装，现场可单独更换部件，螺杆非接触运转，机械磨损低，维保周期更长。

三、详细性能参数

LS300A 为螺杆干式真空泵，最大抽速 380m³/h；C 规格极限压力≤0.1Pa，极限压力功耗约 1.0kW；L 规格极限压力≤0.1Pa，极限压力功耗约 2.5kW；供电适配三相 AC200~240V / AC380~480V，兼容 50/60Hz 工业电网；冷却方式为水冷，冷却水最小流量≥4.0L/min；L 规格氮气吹扫流量调节范围 0~50SLM，开启吹扫条件下最大水蒸气处理量 1.5kg/h；整机运行噪音≤61dB (A)；吸气口标准法兰 ISO-F-50，排气口 KF40；整机重量 220kg；产品符合 CE、cTUVus 安全规范。

C 规格：适合洁净氮气、空气抽气，无需持续轴封氮气，节约氮气消耗；
L 规格：泵腔基础耐表面处理，可应对水汽、少量有机挥发物，适配轻度工艺工况。

四、典型应用场景

泛半导体 / 光伏行业：晶圆传输 Load Lock 腔、溅射镀膜、蒸发镀膜、分子泵前级真空抽气；
光电光学行业：光学镜片真空镀膜、元器件真空封装、洁净等离子清洗；
锂电与通用工业：中型极片真空干燥、真空脱泡、真空冻干设备；
科研实验室：中型真空腔体、材料热处理、真空测试平台配套。

五、与 MS300A 核心区分

LS300A：洁净通用款，主打节能、低运行成本，仅适合粉尘少、无强腐蚀废气的洁净工况；MS300A：工艺耐蚀款，强化粉体排出、抗轻度腐蚀能力，适合刻蚀、带粉尘与腐蚀性废气的恶劣工艺环境。

六、可选配套配件

法兰转换接头、氮气吹扫成套组件、抗震安装底座、排气过滤器、外部控制信号线套件

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