简要描述：ULVAC 爱发科 LS600A 螺杆式干式真空泵
、一、产品概述
LS600A 属于 ULVAC LS 系列中大型清洁型螺杆干式真空泵，拥有 C（洁净工艺款）、L（轻度工艺款）两种配置，整机无油干式结构，搭载爱发科 ECO-SHOCK 节能技术。主打低能耗、洁净抽气，适合少粉尘、无强腐蚀气体的真空产线，广泛用作半导体镀膜设备、Load Lock 腔体、大型真空设备的前级真空泵，与 MS600A

二、核心产品特点

1. 节能运行，降低长期使用成本

   C 型洁净版本内置 ECO-SHOCK 节电系统，极限真空工况功耗大幅降低，长时间连续生产有效节约电费；大抽速性能缩短腔体抽气时长，提升设备稼动率。

2. 洁净无油真空环境

   泵腔内部不含润滑油，杜绝油蒸汽返流污染工件，满足晶圆、光学元器件、镀膜器件等高洁净生产工艺标准。

3. 全压力区间连续稳定运行

   可从大气压持续抽限真空，无需旁路切换；L 型标配氮气吹扫接口，通入吹扫气能够抑制水汽凝露，减少挥发性物质沉积。

4. 水冷一体化结构，运行噪音低

   整机采用水冷散热方案，内置排气消音装置，运行噪音≤62dB (A)，适配厂房不间断量产环境。

5. 模块化易维护设计

   轴承、密封件、管路模块化布局，现场可单独更换损耗配件；螺杆非接触式运转，机械磨损小，维保周期更长。

三、详细性能参数

• C 型（洁净款）：极限工况功耗约 1.3kW，无标准吹扫接口，适配纯净氮气、空气抽气；

• L 型（轻度工艺款）：极限工况功耗约 2.6kW，配备氮气吹扫回路，吹扫流量 0~50SLM，开启吹扫后最大水蒸气处理量 1.5kg/h；

  供电适配三相 AC200~240V / AC380~480V，兼容 50/60Hz 工业电网；

  冷却方式为水冷，冷却水最小流量≥4.0L/min；

  整机运行噪音≤62dB (A)；吸气口标准法兰 ISO-F-80，排气口 KF40；整机重量 242kg；产品符合 CE、cTUVus 安全规范。

四、典型应用场景

1. 泛半导体 / 光伏行业：大型溅射镀膜、蒸发镀膜、晶圆传输 Load Lock 腔、分子泵前级真空抽气；

2. 光电光学行业：光学镜片真空镀膜、元器件真空封装、洁净等离子清洗设备；

3. 新能源与通用工业：大型腔体真空干燥、真空冻干、锂电真空脱泡（洁净工况）；

4. 科研领域：大型真空腔体、材料热处理、真空测试平台配套。

五、与 MS600A 核心区分

六、可选配套配件