简要描述：ULVAC 爱发科 LS120螺杆式干式真空泵
一、产品概述
LS120A 属于 LS 系列清洁型螺杆干式真空泵，主打大抽速 + 低功耗，分为 C（洁净工艺）、L（轻度工艺）两种规格，腔体无油设计，主要适配无尘、少粉尘、无强腐蚀的真空工况，是半导体 Load Lock、镀膜、真空封装这类洁净产线的主流配套干泵，和 MS120A 工艺耐腐款形成工况区分

二、核心产品特点

1. 节能降耗设计

   C 规格搭载爱发科 ECO‑SHOCK 节电技术，极限真空状态功耗可低至 0.6kW 以内，长时间连续运行能显著降低用电成本，整机排气速率快，可缩短腔体抽真空时长。

2. 洁净无油真空输出

   泵腔内部无润滑油，杜绝油蒸汽返流污染工件，适配晶圆、光学件、精密器件等对洁净度要求高的生产环节。

3. 全压力区间稳定运转

   可从大气压直接连续抽限真空，全压力段无需切换旁路，运行平稳；可配套氮气吹扫接口，抑制水汽凝露。

4. 散热选型灵活

   支持风冷、水冷两种冷却方案，厂房通风条件一般可选水冷，布局紧凑、缺水场景可直接选用风冷版本。

5. 低噪音运行

   内置排气消音结构，常规工况运行噪音控制在 61dB (A) 上下，适配车间长时间作业环境。

三、详细性能参数

• C 规格：专为洁净氮气、空气抽气设计，主打节能，适配镀膜、真空闸室、分子泵前级抽气；

• L 规格：腔体做基础耐蚀处理，可应对少量水汽、轻微工艺挥发物，适配普通真空干燥、灰化轻工况。

四、典型应用场景

1. 泛半导体 / 光伏：晶圆传输腔 Load Lock、溅射镀膜、蒸发镀膜、分子泵前级真空抽气；

2. 光电精密行业：光学镜片真空镀膜、器件真空封装、等离子清洗（洁净款）；

3. 通用工业真空：中小型腔体真空干燥、真空脱泡、真空测试设备配套；

4. 科研实验室：真空腔体常规抽气、材料真空热处理（洁净无粉尘工况）。

五、和 MS120A 核心区别

• LS120A：清洁通用款，侧重节能、洁净抽气，风冷 / 水冷可选，只适合粉尘少、无明显腐蚀气体的工况；

• MS120A：工艺耐腐款，强化排粉、抗轻度腐蚀能力，仅水冷结构，适配刻蚀、产线带粉尘废气的恶劣工况。

六、可选配套配件