简要描述：ULVAC 爱发科 MS1200A 螺杆式干式真空泵
一、产品概述
MS1200A 是爱发科 MS 系列大抽速工艺型螺杆干式真空泵，为 MS120A、MS600A 的大流量升级款，延续 MS 系列耐粉尘、抗轻度腐蚀的核心定位，无油干式结构设计，专门适配产生大量工艺粉尘、微量腐蚀性气体、可凝水汽的中大型真空产线，是泛半导体、大型锂电产线、真空热处理等高负荷工况的主力抽气设备。

二、核心产品特点

1. 耐腐蚀抗工况侵蚀

   转子、泵腔气缸等核心部件做专属耐蚀表面处理，可耐受刻蚀、灰化等工序产生的轻度腐蚀性工艺气体，降低腔体腐蚀损耗，延长连续运行寿命。

2. 强排粉防积垢设计

   采用爱发科定制型线螺杆转子，粉尘不易在泵腔缝隙沉积堆积，大幅减少积粉引发的转子卡滞、抽速衰减、停机故障，适配多粉尘连续生产场景。

3. 全压力区间稳定抽气

   可从大气压直接连续抽到极限真空，无需切换旁路；标配氮气吹扫接口，通入吹扫气能抑制水汽凝露、冲刷内壁沉积物，稳定长期工况性能。

4. 水冷散热 + 低噪音运行

   整机水冷散热结构，搭配内置排气消音组件，满负荷运行噪音≤64dB (A)，适配厂房长时间不间断作业环境。

5. 洁净无油真空输出

   真空工作腔体无润滑油参与循环，杜绝油蒸汽返流污染工艺腔体，满足制造洁净真空工艺要求。

三、详细性能参数

四、典型应用场景

1. 泛半导体行业：大型刻蚀机、灰化设备、批量等离子清洗、薄膜制程的主抽真空配套；

2. 锂电池行业：大容量电芯批量真空烘烤、大型极片干燥线、集中式注液脱泡系统排气；

3. 热处理行业：大型烧结炉、真空渗碳炉、多腔体真空炉的大流量真空抽气；

4. 其他工业场景：大型腔体真空冻干、整线物料真空干燥、带微量腐蚀废气的工艺抽气。

五、与 LS1200A 的核心区别

六、可选配套配件