品牌	ULVAC/日本爱发科	价格区间	2万-3万
仪器种类	螺杆泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	医疗卫生,化工,生物产业,电子/电池,半导体

ULVAC 爱发科 MS600A 螺杆式干式真空泵ULVAC 爱发科 MS600A 螺杆式干式真空泵
二、核心产品特点

优异耐腐蚀性能
转子、气缸等核心腔体零部件采用特殊表面处理工艺，耐受刻蚀、灰化等工艺产生的轻度腐蚀性气体，延长泵体使用寿命。
强粉体排出能力
搭载爱发科自研特殊型线螺杆转子，粉尘不易沉积在泵腔内部，有效降低积粉造成转子卡滞、性能衰减的故障风险。
全压力区间连续运行
支持从大气压一直持续抽限真空，无需旁路切换；标配氮气吹扫接口，通入吹扫气能够抑制水汽凝露，减少工艺沉积物附着。
水冷散热、运行噪音低
整机采用水冷冷却结构，内置排气消音装置，运行噪音≤62dB (A)，适合厂房连续生产环境。
洁净无油干式设计
真空工作腔不含润滑油，不会对工艺腔体造成油污染，满足制造洁净真空工艺标准。

三、详细性能参数

MS600A 属于螺杆干式真空泵，最大抽速 560m³/h，极限到达压力≤0.1Pa；供电支持三相 AC200~240V，或 AC380~480V，兼容 50/60Hz 电网，极限压力下运行功耗约 3.1kW；采用水冷方式，冷却水最小流量≥4.0L/min；氮气吹扫流量调节范围 0~50SLM，开启吹扫条件下最大水蒸气处理量 1.5kg/h；整机运行噪音≤62dB (A)；吸气接口标准为 ISO-F-80 法兰，配套排气消音器；整机重量 241kg，产品符合 CE、cTUVus 安全规范。

四、典型应用场景

泛半导体行业：等离子刻蚀、灰化、等离子清洗、薄膜工艺配套主抽真空泵；
锂电池行业：大型电极真空干燥、电芯真空烘烤、注液脱泡工序排气；
热处理领域：烧结炉、渗碳炉、真空炉中大型腔体真空排气；
其他工业真空工艺：真空冻干、大型腔体真空干燥、轻度化学废气抽取。

五、与 LS600A 区分说明

MS600A 为工艺耐蚀款，侧重排粉尘、抗轻微腐蚀气体，水冷结构，适合带有粉尘、腐蚀性废气的工况；LS600A 属于清洁型干泵，适用于洁净氮气、空气排气场景，多用于真空闸室、镀膜等无粉尘无尘工艺。

六、可选配套配件

吸气法兰转换接头、氮气吹扫成套组件、抗震安装底座、排气过滤器、外部控制信号线套件；可升级全氟密封材质，适配腐蚀性更强的工况环境。

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二、核心产品特点

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