品牌	ULVAC/日本爱发科	价格区间	2万-3万
仪器种类	螺杆泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	医疗卫生,化工,生物产业,电子/电池,半导体

ULVAC 爱发科螺杆式干式真空泵 ULVAC 爱发科螺杆式干式真空泵
二、产品核心优势

耐腐蚀性表现优异，转子、气缸等核心部件做专项表面处理，可耐受刻蚀、灰化等工艺产生的轻度腐蚀性气体；
螺杆转子采用专属型线设计，粉尘不易在泵腔内部堆积，大幅降低积粉造成的泵体卡滞故障概率；
可从大气压持续抽至低真空区间，标配氮气吹扫接口，通入吹扫气能够抑制水汽凝露、减少工艺沉积物附着；
采用水冷散热方案，搭配内置排气消音结构，整机运行噪音可控制在 61dB (A) 以内；
真空腔体全程无润滑油，不会对工艺腔体造成油污染，满足半导体、精密制造的洁净真空使用要求。

三、详细性能参数

这款泵属于螺杆干式真空泵类型，最大抽速可达 115 立方米每小时，极限压力不高于 0.6Pa；供电适配三相 200~240V 或是 380~480V 电压，兼容 50/60Hz 电网，额定功耗约 2.4kW；冷却形式为水冷，冷却水最小流量需保证每分钟 4.0L 以上，吹扫氮气流量调节范围 0~50SLM，最大可处理水蒸气量每小时 1.5kg；运行噪音≤61dB (A)，吸气接口标配 KF50 水平接口，也可选配 VG50 垂直接口，排气接口规格为 KF40，整机自重 142kg，产品通过 CE、cTUVus 相关合规认证。

四、主要应用场景

泛半导体行业：等离子刻蚀、灰化、等离子清洗设备的主抽真空配套；
锂电池行业：电极真空干燥、注液脱泡、电芯真空烘烤工序排气；
热处理领域：各类烧结炉、渗碳炉的真空排气作业；
其他精密工艺：真空冻干、物料真空干燥、轻度化学工艺废气抽取。

五、和 LS120A 型号的区别说明

MS120A 属于工艺专用款，侧重耐蚀、排粉尘能力，仅采用水冷结构，适合会产生粉尘、轻微腐蚀气体的工况；LS120A 为清洁使用款，主打洁净空气、氮气抽气，分风冷、水冷两种版本，多用于真空闸室、镀膜这类无尘工艺场景。

六、可选配套配件

可选购吸气法兰转换接头、氮气吹扫成套组件、设备抗震底座、排气过滤器、外接控制信号线缆套件，还可升级全氟材质密封件，适配腐蚀程度更强的作业环境。

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二、产品核心优势

三、详细性能参数

四、主要应用场景

五、和 LS120A 型号的区别说明

六、可选配套配件

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