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Osaka Vacuum 大阪真空 TG220F 涡轮分子泵- 型号：TG220F - 轴承结构：油脂润滑滚珠轴承，出厂预填润滑脂，免日常补脂 - 主流进气法兰：VG100、ISO‑R100、CF100 - 排气接口：KF25 - 氮气抽速：215L/s，氢气抽速 48L/s - 极限真空：＜2×10⁻⁶Pa - 极限压缩比：氮气 1.2×10⁸，氢气 6×10² - 最大氮气处理流量：220sc
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG50F 涡轮分子泵- 型号：TG50F - 轴承形式：油脂润滑滚珠轴承 - 吸气口法兰：VG65 / ISO‑R63 / CF63 - 排气口：KF16 - 氮气抽速：51L/s；加装金属保护网 49L/s - 氢气抽速：12L/s - 极限真空：＜3×10⁻⁶Pa - 最大压缩比：氮气 1.4×10⁷；氢气 5×10² - 最大氮气处理流量：80sccm
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现货EBARA 荏原 ESA500W 干式真空泵属于 ESA 系列超大抽速水冷干式真空泵，多级罗茨无油干式结构，面向大型真空腔体高速抽空，兼顾氢气、氦气轻气体抽取性能。整机大流量输出，适配面板、半导体、新能源大型 Load‑Lock 量产腔体，支持 7×24 小时不间断量产运行。配备多路氮气反吹，抑制泵腔粉末副产物堆积，降低维护停机频次，适配产线 Sub‑fab 机房布置。
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104产品描述
现货EBARA 荏原 ESA300W 干式真空泵多级罗茨转子非接触式逐级压缩工艺气体，全程无油干式压缩；水冷系统持续带走泵体运行热量，保障连续作业温度稳定；可控氮气反吹持续吹扫泵腔内部，减少粉末副产物堆积；内置控制系统实时监测温度、负载、故障状态，可根据气体负载自动调节转子转速，报警、运行数据可对外输出对接产线 PLC 实现联动控制。
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129产品描述
现货EBARA 荏原 ESA200W 干式真空泵多级罗茨转子非接触式逐级压缩工艺气体，全程无油干式压缩；水冷系统持续带走泵体运行热量，保障连续作业温度稳定；可控氮气反吹持续吹扫泵腔内部，减少粉末副产物堆积；内置控制系统实时监测温度、负载、故障状态，可根据气体负载自动调节转子转速，报警、运行数据可对外输出对接产线 PLC 实现联动控制。
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