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产品型号
EST200WN -
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经销商 -
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2026-08-22 -
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产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST200WN 为 EST 系列大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 为镍合金强化防腐配置。面向半导体量产严苛工况，泵腔镍合金材质，搭载泵腔高温控温功能，阻止氯化铵、硅化物等固态副产物冷凝结块，适配大流量、强腐蚀、高粉尘的工艺排气抽取。
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EST200WN厂商性质
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EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST200WN 为 EST 系列大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 为镍合金强化防腐配置。面向半导体量产严苛工况，泵腔镍合金材质，搭载泵腔高温控温功能，阻止氯化铵、硅化物等固态副产物冷凝结块，适配大流量、强腐蚀、高粉尘的工艺排气抽取。
产品型号
EST100WN厂商性质
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145产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST100WN 属于 EST 系列大流量重载双级螺杆干式真空泵，WN 代表镍合金强化防腐配置。专门面向半导体量产严苛工况，泵腔采用耐蚀镍合金材质，自带泵腔高温控温，抑制氯化铵、硅化物等固态副产物冷凝结块，适配大流量、强腐蚀、多粉尘的工艺排气抽取。
产品型号
EST25N厂商性质
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2026-08-22浏览次数
96产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST25N 为 EST 系列中流量重载双级螺杆干式真空泵，N 为标准防腐配置，搭载泵腔高温控温功能，可应对产生粉尘、化学盐类副产物的中等流量工艺，无油干式结构，适配轻度腐蚀工艺尾气抽取，多用于半导体、光伏中试及量产设备。
产品型号
EST10N厂商性质
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2026-08-22浏览次数
119产品描述
EBARA荏原EST系列重载型双级螺杆干式真空泵EST10N 是 EST 系列入门重载双级螺杆干式真空泵，N 代表标准防腐配置，针对会产生少量粉尘、化学副产物的中小流量工艺开发。无油干式结构，支持泵腔加温，防止反应生成物冷凝结块，适配轻度腐蚀性尾气抽取，多用于半导体小型工艺设备。
产品型号
EV‑X30N厂商性质
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2026-08-22浏览次数
93产品描述
EBARA 荏原 EV‑X系列无油螺杆式干式真空泵EV‑X30N 为 EV‑X30 的镍合金防腐版本，大流量无油螺杆干式真空泵，针对半导体高腐蚀、大抽气量工艺工况设计，泵腔采用镍合金材质，专门抽取含氟、氨气等强腐蚀性工艺尾气。
