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UTM2400A-MS厂商性质
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ULVAC 爱发科 UTM2400A‑MS 涡轮分子泵 UTM2400A‑MS 属于五轴磁悬浮外置控制器大抽速涡轮分子泵，泵体与控制单元分离布置，氮气抽速 2400L/s，进气法兰 VG300，排气口 KF40。转子无机械接触摩擦，振动极低，支持任意方位安装，转速可在额定 25‑100% 区间调节，输出洁净无油超高真空，工作必须搭配前级泵
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UTM1500A-MS厂商性质
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ULVAC 爱发科 UTM1500A‑MS 涡轮分子泵 UTM1500A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离式结构，氮气抽速 1500L/s，进气法兰 VG250，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动水平极低，安装方向不受限制，转速可在额定 25‑100% 区间调节，产出洁净无油高真空环境，使用必须搭配前级泵，多用于大型半导体腔体、溅射镀膜设备、超高真空科研平台
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UTM1300A-MS-厂商性质
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ULVAC 爱发科UTM1300A-MS涡轮分子泵 UTM1300A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离结构，氮气抽速 1300L/s，进气法兰 VG200/ICF253，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动极低，支持任意方位安装，转速 25‑100% 可调，产出洁净无油高真空，使用需搭配前级泵，多用于半导体工艺腔体、大型溅射镀膜、科研超高真空平台、大型分析仪器等
产品型号
UTM1000A-MS-厂商性质
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ULVAC 爱发科 UTM1000A‑MS 涡轮分子泵 UTM1000A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器式涡轮分子泵，泵体与控制单元分离设计，氮气抽速 1080L/s，进气法兰 VG200/ICF253，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动极低，支持任意方位安装，转速可在额定值 25‑100% 调节，产出洁净无油高真空环境，使用时必须搭配前级泵，多用于半导体设备、大型镀膜溅射设备、科研超高真空平台
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UTM800A-MS-厂商性质
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ULVAC 爱发科 UTM800A‑MS 涡轮分子泵 UTM800A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离结构，氮气抽速 800L/s，进气法兰 ISO160。无机械接触轴承，振动极低，安装方向不受限制，转速支持 25‑100% 调节，产出洁净无油高真空环境，必须搭配前级泵使用，多用于半导体工艺腔体、大型镀膜设备、科研超高真空平台、大型分析仪器等场景。
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