产品型号
UTM400A‑MS -厂商性质
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2026-08-31浏览次数
61产品描述
ULVAC 爱发科 UTM400A‑MS 涡轮分子泵 UTM400A‑MS 属于 5 轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离设计，氮气抽速 400L/s，法兰 ISO100。整机无机械接触磨损，振动水平低，支持任意方向安装，转速可在额定值 25‑100% 区间可调，可实现高真空、超高真空环境，需要搭配前级泵一起使用，多用于半导体设备、镀膜设备、科研实验、分析仪器等洁净真空场景。
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UTM300A-MS-厂商性质
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58产品描述
ULVAC 爱发科UTM300A-MS涡轮分子泵 UTM300A‑MS 属于磁悬浮分体式涡轮分子泵，整套设备由泵头、外置驱动控制器、连接线缆组成，依靠磁悬浮轴承实现转子无接触悬浮运转，运行无需润滑油。使用时必须搭配前级真空泵，用来搭建高真空、超高真空工况。
产品型号
CRYO-U30H-厂商性质
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67产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U30H双冷头大抽速冷泵CRYO‑U30H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，H 标准通用旗舰型号，VG‑750 超大口径法兰，双冷头结构，全系列最大抽速，面向超大型 FPD、半导体、空间模拟腔体。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材。
产品型号
CRYO-U22H-厂商性质
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ULVAC 爱发科CRYO-U22H双冷头大抽速冷泵CRYO‑U22H 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，H 标准通用版本，UVG‑550 超大口径法兰，双冷头配置，综合抽速强悍，针对 FPD、半导体超大尺寸量产镀膜腔体，依靠低温冷凝吸附获取洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
产品型号
CRYO-U22WB-厂商性质
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71产品描述
ULVAC 爱发科CRYO-U22WB大抽速冷泵CRYO‑U22P 为两级 GM 冷头式闭循环低温冷冻泵，P 为高抗热负荷版本，UVG‑550 超大口径法兰，可承受大工艺气体通入流量，适配 FPD、半导体超大尺寸量产镀膜腔体。依靠低温冷凝吸附获得洁净无油高真空，运行无需液氦耗材
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