品牌	ULVAC/日本爱发科	价格区间	2万-3万
仪器种类	分子泵	产品类型	无油泵
产地类别	进口	应用领域	化工,电子/电池,航空航天,半导体,机械设备

优势代理品牌：

产品简介

UTM‑MS 系列为磁悬浮轴承结构涡轮分子泵，泵体与驱动控制器相互分离，整套由泵头、外置控制器、连接线缆三部分组成，运行无机械接触摩擦，无需润滑油。使用过程必须搭配前级真空泵，用来搭建高真空、超高真空工况。该系列抽速覆盖 300‑4300L/s，提供风冷、水冷两种散热方案，泵体外壳做镀镍防护处理，适配中小到中型腔体，兼顾科研实验与轻量量产设备。分体式布局可以把控制器布置在远离腔体的位置，减少设备本体热量与布线压力，方便整机设备布局规划。

产品特点

磁悬浮无接触轴承转子悬浮运转，没有机械磨损，无润滑油挥发污染真空腔，能够获取洁净的高真空环境，降低后期维护频次。
泵体控制器分体结构泵头与控制单元分开安装，控制器可远程摆放，缩短腔体周边管线，适配设备紧凑化设计；控制器具备完整运行监测，可读取转速、温度、故障报警等状态。
转速可调转速区间支持 25%‑100% 调节，通过改变转子转速，直接调整腔室内压力，适配工艺需要动态调压的场景。
安装不受方向限制泵体可以水平、垂直、倾斜任意角度安装，设备整机结构设计自由度更高。
轻气体排气性能优秀针对氢气、氦气小分子气体压缩能力强，适配分析仪器、镀膜工艺对轻气体的排气需求。
耐受较高前级压力允许的前级压力上限高，可以搭配规格偏小的前级泵，降低整套真空系统配置成本。
多通讯协议支持控制器具备信号对接能力，可以接入设备 PLC 系统，实现远程启停、状态采集、故障反馈，方便集成自动化产线。
冷却方式可选同型号支持风冷、水冷两种散热模式，环境散热条件有选用水冷；空间简单的实验环境可选用风冷版本。
安全可靠性强经过大气冲入、跌落着陆等工况验证，突发返大气时可以有效保护转子叶片，降低意外损坏风险。
法兰规格丰富吸气口兼容 VG、ICF 多种法兰接口，排气口采用 KF 标准接口，匹配市面主流真空腔体、前级泵管路。

主要型号清单

UTM300A‑MS、UTM400A‑MS、UTM800A‑MS、UTM1000A‑MS、UTM1300A‑MS、UTM1500A‑MS、UTM2400A‑MS、UTM3400A‑MS、UTM4300A‑MS

应用场景

半导体中小型工艺设备；蒸发镀膜、溅射镀膜设备；质谱、电镜等各类分析仪器；高校科研实验腔体；空间模拟装置；各类追求洁净无油高真空的工业设备主排气系统；无强粉末、强腐蚀产出的轻工艺真空系统。

这是一款采用磁悬浮轴承的独立控制器式涡轮分子泵。我们提供一系列型号，泵速范围从300升/秒到4000升/秒。控制器单元可监控运行状态，并支持多种通信标准。

特征

泵单元和控制器是分离的。
控制器单元可以监控运行状态，并支持多种通信标准。
安装方向自由
：由于安装方向没有限制，设备设计的自由度大大增加。
该系列发动机的排气速度范围从 300 升/秒到 4000 升/秒不等。
泵的转速可在 25% 到 100% 的范围内
变化，从而可以调节腔室压力。
高耐久性和安全性：
它通过了各种安全验证测试，包括大气进入试验和着陆试验。

目的

各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸发设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备
不产生副产品的轻型工艺的主排气系统
其他应用包括一般高真空排气应用。

规格

表1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
排气口			KF25				KF40
冷却方法			水冷	空冷式	水冷	空冷式	水冷	空冷式	水冷	空冷式
极限压力*1		宾夕法尼亚州	10-7				10-8
排气速度*2	N2	升/秒	320		420		800		1080
	阿尔	升/秒	-
	他	升/秒	340		360		800		930
	H2	升/秒	320		340		700		790
压缩比	N2		1 × ^10⁹
	他		8×10 ⁴
	H2		1 × 10 ⁴				4 x 10 ³
最大进气压力*3		宾夕法尼亚州	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
最大排气压力*3		宾夕法尼亚州	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5分钟内
安装方向			可以朝任意方向安装。
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1-3	-	1-3	-	1-3	-	1-3	-
	水压	兆帕	02-0.5	-	02-0.5	-	02-0.5	-	02-0.5	-
噪音		分贝(A)	60
大量的		公斤	14				33		32
推荐辅助泵			200升/分钟或以上				500升/分钟或以上
控制器	作品		分离
	输入功率		单相交流电 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz)
	所需最大功率	千伏安	0.55				1.0
	可变转速功能		水泵的运行速度可以在指定转速的 25% 到 100% 之间变化（设置可以以 0.1% 的增量进行调整）。
	外部控制		联系输入/输出
			RS-232C / RS-485
	大量的	公斤	8

*1：表示操作顺序。
*2：无保护网时的数值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的条件无法同时满足。

表2

模型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
进气口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
排气口			KF40
冷却方法			水冷
极限压力*1		宾夕法尼亚州	10-7
排气速度*2	N2	升/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	阿尔	升/秒	-		2000	3100	4200
	他	升/秒	1050	1200	2240	3100	-
	H2	升/秒	750	800	1770	2200	2600
压缩比	N2		6×10 ⁸		1 × ^10⁹
	他		1 × 10 ⁴		7×10 ⁴	1 × 10 ⁵	3 x 10 ⁴
	H2		1 × ^10³		3 x 10 ³	6 × ^10³	2 × ^10³
最大进气压力*3		宾夕法尼亚州	133		40
最大排气压力*3		宾夕法尼亚州	270		270
转速		转速	30300		27000	27600	24000
启动时间			7分钟内		11分钟内	12分钟内	18分钟内
安装方向			可以朝任意方向安装。
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1-3		2-4
	水压	兆帕	02-0.5
噪音		分贝(A)	60		57	60
大量的		公斤	39	42	70	84	105
推荐辅助泵			600升/分钟或以上		1300升/分钟或以上	1500升/分钟或以上
控制器	作品		分离
	输入功率		单相交流电 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz)
	所需最大功率	千伏安	1.0		1.5
	可变转速功能		水泵的运行速度可以在指定转速的 25% 到 100% 之间变化（设置可以以 0.1% 的增量进行调整）。
	外部控制		联系输入/输出
			RS-232C / RS-485
	大量的	公斤	8