FV-W真空泵整套系统FLUORO福乐FV-W是F007、C007弹出吹气释放型真空镊子的专属动力主机，属于无油隔膜式双向真空泵，集成负压吸附与可调正压吹气双回路，是半导体无尘车间、研发实验室超薄晶圆、微型芯片无损拾取的配套核心设备，解决薄片物料因静电、液体表面张力发生粘片无法脱落的行业痛点。整机采用无油隔膜结构，全程不会产生油雾污染，满足Class100洁净室使用标准。进、出气端口标配HEPA高效过滤器，可拦截99.97%粒径≥0.3μm颗粒物，主机壳体预留透明观察窗，能够...

FLUOROMechanicM100系列是日本福乐推出的基础款机械式晶圆夹持镊子，属于无锁直压型晶圆搬运工具，和L系列杠杆锁晶圆镊子、C系列防静电真空吸笔、F系列防腐真空吸笔共同构成完整半导体手动物料搬运产品线，多用于无尘干式产线、研发实验室，实现硅晶圆、化合物半导体晶圆、光学基板的取样、外观目检、工序中转作业。镊子主体采用一体式PEEK材料成型，整机无金属铆钉、无粘接胶水，从源头规避金属离子析出污染晶圆有源区域。产品线提供两种材质版本可选：标准绝缘PEEK款、碳纳米管填充导...

导电款L系列晶圆镊子L系列杠杆锁夹持镊FLUORO福乐L系列短款杠杆锁晶圆夹持镊，是面向半导体干式无尘车间开发的手动晶圆边缘夹持工具，行业常简称为晶圆夹、晶片镊子，和C系列真空吸笔、F系列湿法真空镊子组成完整晶圆手动搬运方案，广泛用于硅晶圆、化合物半导体晶圆、研磨后超薄晶圆、光学基板的实验室取样、制程中转、外观检验工位。产品本体采用导电PEEK（碳纳米管填充）一体成型，无金属铆钉、无粘接胶水，杜绝金属离子析出污染晶圆。导电版本表面电阻稳定维持在防静电区间，可持续泄放静电，保护...

FLUORO福乐C系列是面向半导体干式无尘产线开发的导电防静电真空拾取工具，行业常称真空吸笔、真空晶圆镊子，与F系列PTFE防腐湿法款形成干法、湿法场景互补，广泛用于晶圆划片、探针测试、芯片封装、光学元件检测等干燥无尘工位，有效规避静电击穿敏感器件风险。笔身主体采用碳纤维填充导电尼龙一体成型，表面电阻率稳定维持在10⁶~10⁸Ω区间，整机形成连续静电泄放通路，可快速导出操作产生的静电，保护CMOS晶圆、超薄芯片、MiniLED基板、光学镜片不受静电损伤。内部阀芯密封结构选用氟...

FLUOROF系列真空吸笔FLUORO（日本福乐）F系列为全氟树脂防腐型真空拾取工具，行业俗称真空镊子、真空吸棒，F007为该系列弹出吹气释放主力型号，面向半导体湿法制程开发，专门用于硅晶圆、化合物晶圆、超薄晶圆在酸碱药液、有机溶剂环境下无损转运，是湿法清洗、蚀刻、剥离、晶圆浸泡工艺标配工具，和C系列导电防静电真空吸笔形成干法/湿法互补产品线。整机主体采用PTFE特氟龙一体成型，具备耐化学腐蚀能力，可长期接触、盐酸、硫酸、各类显影液、剥离液、光刻溶剂，不会出现溶胀、析出微粒、...

EBARA荏原ESA系列为水冷式无油干式罗茨真空泵，专为大流量工况、氢气等轻质气体抽气优化，是半导体MO-CVD外延、LED、光伏、大型真空腔体量产产线主力干泵，支持7×24小时连续工艺运行，兼顾耐腐蚀、高负载、智能节能特性。核心技术优势全无油干式结构，保障工艺洁净度多级罗茨非接触转子结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾返流污染腔体与晶圆，满足半导体洁净制程要求。标配可控氮气吹扫系统，适配连续工艺排气工况。轻气体优异抽气性能，MO‑CVD机型针对氢气、氦气等轻质气体优化压缩结构，氢气...

EBARA荏原EMT、EBT系列为复合式涡轮分子泵，是实现高真空、超高真空工况核心主抽泵。EMT为磁悬浮轴承型，EBT为陶瓷滚珠轴承型，覆盖宽广抽速区间，支持空冷/水冷、控制器一体/分离多种配置，广泛配套半导体设备、分析仪器、镀膜设备，适配洁净超高真空制程。产品核心特点两种轴承方案灵活选型EMT磁悬浮轴承：无机械接触、振动极低、使用寿命长，适合对震动敏感、长期不间断运行、超高真空精密工况；EBT陶瓷滚珠轴承：结构坚固、性价比高，耐受突发大气冲击，适配移动式真空平台、常规科研与...

EBARA荏原EV-A10为风冷多级罗茨干式真空泵，主打大气区间高效抽气，无需冷却水，全无油洁净真空，适配频繁破真空、反复大气抽放工况，是半导体LoadLock、分析仪器、锂电设备、实验室中大流量洁净真级泵优选。核心技术优势全无油干式结构，真空洁净无污染采用非接触多级罗茨转子设计，泵腔内部无需润滑油，杜绝返油、油雾污染，保护腔体、样品不被碳氢杂质影响，满足精密制程洁净要求。标配气镇阀，最大可处理500g/h水蒸气，适配含水汽抽气工况。一体式风冷设计，安装部署简单整机空气冷却，...

EBARA荏原EV-SA系列为风冷式多级罗茨无油干泵，依托非接触转子结构，无需冷却水配套，提供高洁净真空环境，主打低能耗、低振动、长周期免维护，广泛用于半导体LoadLock腔体、分析仪器、科研实验室、小型镀膜设备，是中大流量洁净真级泵优选方案。产品核心优势全无油干式结构，杜绝工艺污染泵腔内部无润滑油，无返油、油雾析出问题，保障腔体、样品不受碳氢污染物干扰，满足半导体、精密分析仪器等高洁净制程需求。搭载气镇功能，具备优秀水蒸气抽取能力，适配含水汽抽气工况。一体式风冷设计，部署...

EBARA荏原EV-PA系列为无油干式真空泵，采用风冷结构，无需水冷，整机无油设计，真空洁净度高，运行稳定、免维护，广泛配套分析仪器、半导体设备、实验室真空系统、检漏设备等，是中小流量洁净真空场景通用型前级真空泵。产品核心特点1.全无油干式结构，泵腔无润滑油，无油烟、无返油，提供高洁净真空，杜绝样品、腔体污染，适配精密仪器洁净工况。2.风冷一体式设计，无需外接冷却水，接线即可使用，安装简单，适配设备内嵌、台式摆放、移动式使用。3.转子非接触结构，无磨损配件，无需定期换油、更换...

干式真空泵是一类泵腔内无油无水、依靠机械转子改变腔体容积实现抽气的洁净型真空泵，全程无油润滑介质，可避免油蒸气污染被抽系统，是当前制造领域替代传统油封泵的主流设备。干式真空泵它的主流类型及运行逻辑如下：‌干式螺杆真空泵‌：一对阴阳螺杆在泵壳内同步反向旋转，气体沿轴向被推送压缩，适配宽压力范围工况。‌爪式真空泵‌：多级爪型转子串联布置，逐级压缩气体，能效表现优异，整机结构紧凑。‌无油涡旋真空泵‌：依靠涡旋盘的偏心运动完成气体的吸入、压缩与排出，运行噪音低，可获得高洁净真空环境。...