分子泵安装和维护注意事项

一、安装注意事项

1、安装姿态机械轴承机型（ULVAC YTP 系列）优先竖直安装，倾斜角度不能超 ±5°，禁止倒立使用；磁悬浮 UTM、STP 系列支持竖直、水平、倒立多姿态安装，但泵体必须刚性固定牢靠，转子高速运转存在很大反扭矩，固定不牢会出现松脱风险。2、法兰与管路法兰密封面保持洁净无划痕，O 型圈、金属垫片无损伤，螺栓按规定扭矩均匀锁紧；泵进出口建议加装波纹管，不要让管道重量直接压在泵法兰上，避免泵体受外力形变。进气口务必装配金属防护网，防止碎屑、螺丝掉入打坏高速叶片pfeifferva...。3、冷却配置水冷机型确认进出水方向正确，控制水温、流量，杜绝断水；风冷机型保证通风散热，周边不要堆积杂物，泵体运行会发热，避免烫伤人员ManualsLib。4、前级泵配套分子泵严禁直接抽大气，必须配匹配抽速的前级泵；只有前级泵把压力降到允许前级压力，分子泵才允许启动；前级泵选型偏小，会造成分子泵升温、过流报警、寿命缩短。5、电气与环境使用原厂控制器电缆，电压匹配铭牌参数；安装环境温度控制 5‑35℃，远离强振动、强磁场；磁悬浮泵受强磁场干扰会出现位移异常、报警停机ManualsLib。6、开机顺序启动顺序：开启前级泵预抽腔体→到达前级压力→启动分子泵升速；必须转速达到额定转速后，再打开高真空阀对接腔体。

二、运行使用禁忌

1、运行状态下禁止突然破真空、突然放大气，气流冲击会损伤叶片；如果意外大气冲入，极易造成转子损坏。2、抽腐蚀性气体、工艺副产物气体，选用耐腐蚀版本泵，开启吹扫氮气，减少沉积物附着叶片。3、腔体有粉尘、颗粒工况，入口增加过滤防护；可凝蒸汽量大，做好冷阱处理，防止内部沉积。4、运行中避免敲击、撞击泵体，外部剧烈振动会破坏转子动平衡。

三、维护保养要点

机械轴承型（YTP 陶瓷轴承）

1、属于定期维护机型，根据运行时长，需要定期补充 / 更换轴承润滑脂，到达寿命周期必须更换轴承，禁止用户私自拆解泵体，拆泵后需要重新做动平衡。2、日常观察运行噪音、振动、泵体温度，出现异响、振动变大，代表轴承出现磨损。3、长期停机，泵内部充干燥氮气密封，隔绝水汽腐蚀。

磁悬浮轴承（UTM、STP）

1、转子无物理接触，正常工况几乎免维护；重点监控控制器的转速、转子位移、温度报警信息。2、虽然不用换轴承，但电路板、线缆需要定期检查；处理腐蚀工艺，依旧要控制工艺沉积物堆积转子。

通用日常巡检

1、记录运行时长、泵体温度、振动、控制器报警代码；温度异常升高优先排查冷却系统。2、真空性能明显下降、抽速变差，大概率内部被工艺物质污染，不可自行拆开，送专业机构清洗检修。3、拆卸泵之前，先停机完整减速，泵内外压力平衡；抽过腐蚀性气体，要充分吹扫之后再拆卸，做好防护。

四、停机正确流程

关闭高真空阀隔离腔体→分子泵执行减速停机，转速归零→关闭分子泵控制器→再关闭前级泵；需要对泵本体放气，通入干燥氮气，禁止直接通入潮湿大气。