如何选择适合自己的分子泵

选型核心维度：目标真空度、抽速、轴承类型、被抽气体、振动要求、预算、前级泵配套、安装工况。

1、确认需要达到的真空等级

• 高真空 HV：10⁻⁴～10⁻⁷Pa，普通镀膜、实验室仪器，标准涡轮分子泵即可，爱发科 YTP 系列满足。

• 超高真空 UHV：优于 10⁻⁷Pa，表面分析、半导体，优先磁悬浮机型 UTM、STP 系列。

2、抽速选型（L/s）

腔体容积越大、放气越严重、工艺进气量越大，抽速就要选大一档。经验参考：小腔体几升到几十升，80‑300L/s；中型镀膜设备 300‑800L/s；半导体产线大型腔体 800L/s 以上。选型预留 20‑30% 余量，不要卡着刚好够用选，管路越长、弯头越多，实际有效抽速会下降。

3、轴承类型选择（非常关键）

陶瓷机械轴承（YTP 系列）优点：采购成本低，体积小巧；缺点：转子有物理摩擦，需要定期维护换油脂；有安装姿态限制；振动偏大；适用：实验室、小型设备、间歇运行、预算有限场景。

五轴磁悬浮轴承（UTM、STP）优点：转子无接触，振动极小，24 小时连续量产，维护周期长，支持多方向安装；缺点：价格高；适用：半导体产线、电镜质谱、精密镀膜、对振动敏感、长时间不停机工况。

4、被抽气体种类

1. 普通氮气、氩气：普通标准型号即可。2. 大量氢气、氦气轻气体：必须关注氢压缩比，优先带拖拽级复合结构分子泵。3. 腐蚀性工艺气体：选耐腐蚀版本，爱发科 UTM‑FH/FW，搭配吹扫气，防止副产物沉积叶片。4. 带粉尘、颗粒物：泵入口必须加装过滤器，避免叶片被打坏卡死。

5、振动、洁净度要求

电镜、质谱、精密检测设备：必须磁悬浮，低振动，无油脂挥发污染。普通镀膜、一般实验：机械轴承可以满足。

6、前级泵配套（分子泵不能直接抽大气）

分子泵启动前，前级泵要把腔体预抽到临界前级压力以下。小抽速分子泵可以配油旋片泵；半导体、洁净工艺优先配干式前级泵。前级泵抽速一般取分子泵抽速的 1/100‑1/50，前级泵选太小，会造成分子泵工作异常、跳保护。

7、法兰接口

KF 小法兰：小泵，快拆；ISO‑K 大法兰：常规高真空；CF 金属密封法兰：超高真空工况使用。

8、预算与维护考量

机械轴承：初期投入低，后期要定期保养更换轴承油脂。磁悬浮：购机成本高，长期产线使用维护频次低，综合产线综合成本更低。

ULVAC 爱发科快速选型对照

实验室、小仪器、间歇使用 → YTP 陶瓷轴承系列镀膜、量产设备、低振动需求 → UTM 磁悬浮通用款半导体腐蚀工艺 → UTM‑FH/FW 耐腐蚀款半导体、超高真空 → STP 磁悬浮系列