分子泵应用领域

分子泵产出洁净高真空、超高真空，必须搭配前级泵，主要用于对油气污染敏感、真空度要求高的工况。

半导体行业刻蚀、PVD 溅射、CVD 薄膜沉积、离子注入、光刻机、晶圆检测设备。磁悬浮分子泵大量用于产线量产，应对部分腐蚀性工艺气体，保障芯片良率。

真空镀膜行业光学镜片镀膜、手机屏幕、装饰镀层、磁控溅射设备、蒸发镀膜。需要无油洁净真空，避免膜层被油污污染。

分析仪器与实验室设备扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM、各类质谱仪、能谱仪。仪器内部需要超高真空，防止电子束被空气分子干扰，保障成像、检测精度。

科研院所装置表面物理实验、材料科研、粒子加速器、空间环境模拟舱，模拟太空真空环境，做器件可靠性测试。

光伏与显示面板光伏电池薄膜工艺、OLED 面板蒸镀，腔体维持高真空，完成薄膜制备工序。

工业配套氦质谱检漏设备、真空热处理炉、真空焊接设备。检漏仪依靠分子泵获得高真空，实现微小漏点检测。

其他小众场景部分医疗器械、核物理相关实验设备。

选型简单区分：实验室仪器、小腔体 → 机械轴承分子泵（ULVAC YTP 系列）半导体产线、24h 连续运行、低振动 → 磁悬浮分子泵（ULVAC UTM、STP 系列）