分子泵工作原理

分子泵主流是涡轮分子泵，依靠高速旋转叶片给气体分子传递动量实现抽气，不能直接抽大气压，要有前级泵预抽。

气体在高真空状态下，分子之间距离很大，分子到处乱飞，很少互相碰撞。泵内部有成百上千级交替排列的动叶片、静叶片，转子动叶以每分钟几万转高速转动。高速叶片撞击飞过的气体分子，给分子一个定向的冲击力，把分子打向排气一侧。气体分子穿过一层层动叶、静叶，不断被逐级推向后方排气口，再由前级泵把气体排到外界大气。

动叶片负责击打分子赋予动能，静叶片起到导向，约束分子流向排气端，一层层叠加，实现很高压缩比，最终获得高真空、超高真空。

简单大白话：就像高速风扇不停拍打四处乱跑的气体分子，把分子一路赶出去，不是靠吸力，是靠叶片 “击打搬运" 气体分子。

关键点

1. 只有到达分子流状态（腔体已经被前级泵抽到一定真空），分子泵才能有效工作；大气压下气体分子碰撞频繁，叶片打不动，无法抽气。2. 对氢气、氦气这类轻分子压缩难度大，大抽速机型会配置复合结构，增加拖拽级提升轻气处理能力。3. 分机械轴承、磁悬浮轴承，磁悬浮转子无接触摩擦，振动更小。