什么是涡轮分子泵？

分子泵是什么

涡轮分子泵属于动能式高真空泵，不能直接抽大气，必须搭配前级泵（旋片泵、干泵）预抽，把腔体抽到中等真空以后，分子泵才可以启动工作。工作逻辑大白话：内部多级动叶片以数万转每分钟高速旋转，叶片击打四处乱飞的气体分子，给分子向下的动量，一层层把气体分子驱赶至排气口，由前级泵排出去，以此拿到高真空、超高真空环境。可实现真空区间：10⁻⁴~10⁻⁷Pa，整体洁净度高，油气污染少，启动速度快，对氢气、氦气这类轻气体排气表现突出爱发科商贸...。缺点：高速转子怕撞击、怕异物，断电需要延时停机；轴承分机械轴承、磁悬浮轴承两种，不同类型维护周期差异很大。

主要用途：半导体工艺、真空镀膜、溅射、刻蚀、CVD、质谱、电子显微镜、科研实验设备等需要洁净高真空的工况

ULVAC 爱发科分子泵

日本真空设备品牌爱发科，涡轮分子泵是其核心产品线，市面上分为三大系列：

1. YTP 系列（陶瓷球机械轴承）体积小巧，成本适中，适合实验室、小型分析仪器、小腔体镀膜。轴承存在物理接触，需要定期维护更换轴承油脂，代表型号 YTP‑50M、YTP‑70A‑D、YTP‑150MB、YTP‑300MB。

2. UTM 系列（磁悬浮 / 复合轴承）五轴磁悬浮结构，转子无物理接触磨损，振动极低，可 24 小时连续量产运行，维护周期长，适配半导体产线、大型镀膜设备。细分 MS 通用款、FH/FW 耐腐蚀工艺款，抽速覆盖 70‑4400L/s，可处理部分腐蚀性工艺气体。

3. STP 系列高性能磁悬浮分子泵，面向半导体设备、大型分析仪器，压缩比高，通讯接口齐全，支持设备自动化联动，多用于晶圆制造产线。

爱发科分子泵通用特点

1. 分子流区间抽速稳定，可以连续排气，不需要再生处理；2. 轴承方案选择丰富，从小型桌面机型到大产线重载机型全覆盖；3. 部分型号支持一体式控制器，安装调试便捷；4. 依旧必须配前级泵，禁止直接对大气启动；5. 磁悬浮款可以多方向安装，机械轴承款有安装姿态限制。

选型简单区分

科研、小设备预算有限 → YTP 陶瓷轴承系列工厂量产、低振动、长周期免维护 → UTM 磁悬浮系列半导体工艺 → STP 系列