产品型号
UTM1000A-MS-厂商性质
经销商更新时间
2026-08-31浏览次数
57产品描述
ULVAC 爱发科 UTM1000A‑MS 涡轮分子泵 UTM1000A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器式涡轮分子泵，泵体与控制单元分离设计，氮气抽速 1080L/s，进气法兰 VG200/ICF253，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动极低，支持任意方位安装，转速可在额定值 25‑100% 调节，产出洁净无油高真空环境，使用时必须搭配前级泵，多用于半导体设备、大型镀膜溅射设备、科研超高真空平台
产品型号
UTM800A-MS-厂商性质
经销商更新时间
2026-08-31浏览次数
49产品描述
ULVAC 爱发科 UTM800A‑MS 涡轮分子泵 UTM800A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离结构，氮气抽速 800L/s，进气法兰 ISO160。无机械接触轴承，振动极低，安装方向不受限制，转速支持 25‑100% 调节，产出洁净无油高真空环境，必须搭配前级泵使用，多用于半导体工艺腔体、大型镀膜设备、科研超高真空平台、大型分析仪器等场景。
产品型号
UTM400A‑MS -厂商性质
经销商更新时间
2026-08-31浏览次数
60产品描述
ULVAC 爱发科 UTM400A‑MS 涡轮分子泵 UTM400A‑MS 属于 5 轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离设计，氮气抽速 400L/s，法兰 ISO100。整机无机械接触磨损，振动水平低，支持任意方向安装，转速可在额定值 25‑100% 区间可调，可实现高真空、超高真空环境，需要搭配前级泵一起使用，多用于半导体设备、镀膜设备、科研实验、分析仪器等洁净真空场景。
产品型号
UTM300A-MS-厂商性质
经销商更新时间
2026-08-31浏览次数
58产品描述
ULVAC 爱发科UTM300A-MS涡轮分子泵 UTM300A‑MS 属于磁悬浮分体式涡轮分子泵，整套设备由泵头、外置驱动控制器、连接线缆组成，依靠磁悬浮轴承实现转子无接触悬浮运转，运行无需润滑油。使用时必须搭配前级真空泵，用来搭建高真空、超高真空工况。
产品型号
TG2810厂商性质
经销商更新时间
2026-08-28浏览次数
107产品描述
Osaka Vacuum 大阪真空涡轮分子泵TG2810 属于 TG 系列标准型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，适配洁净惰性气体工况，大抽速输出，标配水冷散热，适合大容积腔体长时间连续量产作业，多用于半导体、FPD 面板、大型科研真空装置。同规格可选用 TG2813 化学对策版本，应对部分腐蚀性工艺气体。
相关文章
