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YTP -50MB-厂商性质
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2026-08-31浏览次数
55产品描述
ULVAC 爱发科YTP -50MB涡轮分子泵机组搭载陶瓷球轴承涡轮分子泵，将前级泵、控制模块、真空检测部件整合在一起，能够直接完成从大气压抽到高真空的整套抽气流程。分为 SA 自动控制款与 M 手动操作款，前级泵可选择油旋片泵或者干式涡旋泵，整机布置简单易用，搭配烘烤配件还可以获得超高真空环境，广泛用于实验室研发、分析仪器、小型真空腔体等真空作业场景。
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UTM3400A-MS厂商性质
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54产品描述
ULVAC 爱发科 UTM3400A‑MS 涡轮分子泵 五轴磁悬浮外置控制器超大抽速涡轮分子泵，泵体与控制单元分离式结构，氮气抽速 3400L/s，进气法兰 VG300/VG350，排气口 KF40。转子无机械接触摩擦，振动极低，支持任意方位安装，转速 25‑100% 可调，输出洁净无油超高真空，使用必须搭配前级泵，多用于大型半导体工艺腔体、大尺寸溅射镀膜设备、超高真空科研平台、大型分析仪器等洁净
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UTM2400A-MS厂商性质
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ULVAC 爱发科 UTM2400A‑MS 涡轮分子泵 UTM2400A‑MS 属于五轴磁悬浮外置控制器大抽速涡轮分子泵，泵体与控制单元分离布置，氮气抽速 2400L/s，进气法兰 VG300，排气口 KF40。转子无机械接触摩擦，振动极低，支持任意方位安装，转速可在额定 25‑100% 区间调节，输出洁净无油超高真空，工作必须搭配前级泵
产品型号
UTM1500A-MS厂商性质
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79产品描述
ULVAC 爱发科 UTM1500A‑MS 涡轮分子泵 UTM1500A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离式结构，氮气抽速 1500L/s，进气法兰 VG250，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动水平极低，安装方向不受限制，转速可在额定 25‑100% 区间调节，产出洁净无油高真空环境，使用必须搭配前级泵，多用于大型半导体腔体、溅射镀膜设备、超高真空科研平台
产品型号
UTM1300A-MS-厂商性质
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47产品描述
ULVAC 爱发科UTM1300A-MS涡轮分子泵 UTM1300A‑MS 为五轴磁悬浮外置控制器型涡轮分子泵，泵体与控制单元分离结构，氮气抽速 1300L/s，进气法兰 VG200/ICF253，排气口 KF40。无机械接触轴承，振动极低，支持任意方位安装，转速 25‑100% 可调，产出洁净无油高真空，使用需搭配前级泵，多用于半导体工艺腔体、大型溅射镀膜、科研超高真空平台、大型分析仪器等
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