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2026-08-06 -
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1813 涡轮分子泵TG1813 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板以及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1813 涡轮分子泵TG1813 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板以及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1303 涡轮分子泵。TG1303 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，标配水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 面板及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG1003 涡轮分子泵TG1003 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体流道与叶片做防腐涂层处理，适配部分腐蚀性工艺气体，水冷散热，大抽速输出，适合大容积真空腔体长时间连续量产作业，多用于半导体刻蚀、FPD 及大型科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG553 涡轮分子泵TG553 属于 TG 系列化学对策型油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，泵体做防腐处理，适配部分腐蚀性工艺气体，水冷散热，适合中大型真空腔体长时间连续生产作业，广泛应用于半导体制程、镀膜设备以及科研真空装置。
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Osaka Vacuum 大阪真空 TG203 涡轮分子泵 TG203 属于油润滑滚珠轴承涡轮分子泵，为化学对策机型，机身结构紧凑，具备耐受部分腐蚀性工艺气体的能力、抗振动性能优异，适合中小腔体真空系统长时间连续抽气作业，多用于半导体、镀膜以及各类科研装置。
