产品型号
UTM3400A厂商性质
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2026-08-31浏览次数
77产品描述
ULVAC爱发科VPT‑060涡轮分子泵排气机组VPT‑060 为底座集成式完整干式高真空排气单元，底座平台整合涡轮分子主泵、隔膜式干前级泵、控制模块、阀门与成套管路，整机出厂完成管路装配，到手即可搭建真空系统。整机体积小巧，无油运行，杜绝泵油带来的腔体污染；自带运行状态指示灯，操作简单，法兰规格可按需选配，可直接把腔体从常压抽至高真空，多用于理化实验室、分析检测设备、制药、小型半导体相关试验
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UTM3400A厂商性质
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94产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM3400A‑MI 属于 UTM‑MI 系列大抽速控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮轴承结构，驱动控制单元集成在泵体底部，无需外置控制器，接线简洁节省设备空间。转子无机械接触摩擦，振动水平极低，转速可在 25%‑100% 区间连续调节实现腔压调控；支持任意方向安装，完成空气突入、跌落冲击可靠性验证，需搭配大流量前级泵使用，多用于面板制程
产品型号
UTM2300A厂商性质
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2026-08-31浏览次数
72产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM2300A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮轴承结构，驱动控制单元集成在泵体底部，无需外置控制器，接线简单节省设备空间。转子无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间连续调节，以此调控腔体压力；支持任意方向安装，完成空气突入、跌落冲击可靠性验证，需搭配前级泵使用，多用于半导体设备、光学镀膜
产品型号
UTM1600A厂商性质
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85产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM1600A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮轴承结构，泵体集成驱动控制单元，无需外置控制器，布线简洁节省设备空间。转子无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间连续调节，以此调控腔体压力；支持任意方向安装，经过空气冲击、跌落可靠性验证，需要搭配前级泵使用
产品型号
UTM1200A‑MI厂商性质
经销商更新时间
2026-08-31浏览次数
81产品描述
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵UTM1200A‑MI 属于 UTM‑MI 系列控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，采用五轴磁悬浮轴承，泵体底部集成驱动控制单元，无需外置控制器，布线简单节省设备空间。无机械接触摩擦，振动极低，转速可在 25%‑100% 区间调节，以此实现腔体压力调控；支持任意方向安装，经过空气冲击、跌落可靠性验证，需要搭配前级泵使用，多用于半导体设备、光学镀膜
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