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| 品牌 | ULVAC/日本爱发科 | 价格区间 | 2万-3万 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 无油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,半导体,机械设备 |
优势代理品牌：
UTM‑MI 系列为控制器一体化磁悬浮涡轮分子泵，泵体底部集成驱动控制单元，无需外接独立控制器，无机械接触磁浮轴承结构，无油运行，振动极低。转速支持 25%‑100% 区间可调，可实现腔体压力调节，安装姿态不受限制，通过空气冲击、跌落等可靠性测试，整机布线简单节省空间，主流型号 UTM1200A‑MI、UTM1600A‑MI、UTM2300A‑MI、UTM3400A‑MI，多用于半导体设备、溅射蒸发设备、大型分析仪器、光学镀膜等洁净高真空工艺场景
控制器泵体一体化，省去外置控制箱，减少接线工序，节省设备布局空间。
全磁悬浮轴承，转子无机械接触摩擦，无磨损，寿命长，振动水平低，实现无油洁净高真空。
转速可调功能，转速 25%‑100% 可调节，通过改变泵抽速实现腔体内压力调控，适配轻负荷工艺。
安装方向自由，无安装姿态限制，设备整机结构设计自由度高。
高安全耐久性能，经过空气突入、跌落冲击等多项可靠性验证，运行稳定性强。
多法兰规格可选，VG、ISO‑F 多种进气法兰，适配不同真空管路对接。
支持外部信号联锁，具备通讯接口，方便对接整机自动化系统。
烘烤拓展能力，腔体配合烘烤脱气，可达成超高真空工况，可替代扩散泵使用。
表格
| 型号 | 氮气抽速 | 进气法兰 | 冷却方式 | 极限真空 |
|---|---|---|---|---|
| UTM1200A‑MI | 1200L/s | VG150 / ISO160‑F | 水冷 | 烘烤后可达 10⁻⁷Pa |
| UTM1600A‑MI | 1600L/s | VG200 / ISO200‑F | 水冷 | 烘烤后可达 10⁻⁷Pa |
| UTM2300A‑MI | 2300L/s | VG250 / ISO250‑F | 水冷 | 烘烤后可达 10⁻⁷Pa |
| UTM3400A‑MI | 3400L/s | VG300/VG350 / ISO320‑F | 水冷 | 烘烤后可达 10⁻⁷Pa |
电源：三相 AC200‑240V 50/60Hz使用环境温度：5‑40℃
半导体设备主排气；光学镀膜、磁控溅射设备；大型分析仪器；无油高真空工艺腔体；替代扩散泵真空系统；大腔体科研真空装置。
ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵ULVAC 爱发科UTM‑MI系列磁悬浮涡轮分子泵
各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸发设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备
不产生副产品的轻型工艺的主排气系统
更换配备油扩散泵的设备。
其他应用包括一般高真空排气应用。
| 模型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力*1 | 10 -7 Pa | |||||||||||
| 排气速度 *2*3 | N2 | 1030 升/秒 | 1400 升/秒 | 2100 升/秒 | 3200 升/秒 | |||||||
| 阿尔 | 980 升/秒 | 1330 升/秒 | 2000 升/秒 | 3100 升/秒 | ||||||||
| H2 | 660 升/秒 | 750 升/秒 | 1380 升/秒 | 2100 升/秒 | ||||||||
| 压缩比 | N2 | 2 × 10 8 | 1 x 10⁸或更多 | 1 x 10⁹或更多 | ||||||||
| 他 | 7×10 3 | 5×10 3 | 1 × 10 5 | |||||||||
| H2 | 8×10 2 | 9×10 2 | 6 × 10³ | |||||||||
| 最大进气压力*4 | 26 帕 | 4.5 帕 | 7 帕 | |||||||||
| 最大排气压力*4 | 266 帕 | 200 帕 | 270 帕 | |||||||||
| 转速 | 37200 分钟-1 | 33700分钟-1 | 27600 分钟-1 | |||||||||
| 可变转速功能 | 水泵的运行速度可在规定转速的25%至100%之间调节。（调节幅度以0.1%为增量。） | |||||||||||
| 启动时间 | 8分钟内 | 9分钟内 | 16分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 可以朝任意方向安装。 | |||||||||||
| 表面处理*5 | 没有任何 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程接口 | D-sub 25针母触点输入/输出 | D-sub 37针母触点输入/输出 | |||||||||
| 串行接口 | 专用圆形连接器 RS232C/RS485 | D-sub 9针公头 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 作品 | 与泵体一体成型（内置于底部） | ||||||||||
| 电源 | 单相交流电 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz) | |||||||||||
| 最大所需功率 | 0.75千伏安 | 1.2千伏安 | ||||||||||
| 冷却方法 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水*6 | 流速 | 3-4 升/分钟 | ||||||||||
| 水压 | 0.2 至 0.4 MPaG | |||||||||||
| 噪音 | 57 分贝(A) | 60 分贝(A) | ||||||||||
| 大量的 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推荐辅助泵*7 | 600升/分钟或以上 | 1500升/分钟或以上 | ||||||||||
| 适用标准 | CE，TUVus | |||||||||||
| 标准配件 | 进气口 O 型圈（仅限 VG 型号）、排气口防尘帽、遥控器连接器、使用说明书（CD-ROM） | |||||||||||
| 选择规格 | 交流电缆 | 交流电源连接器/交流电源线（5米/10米/15米/20米） | ||||||||||
| 用于固定水泵的专用螺栓 | M10/M12 | |||||||||||
| 固定水泵是否需要特殊的螺栓？ | 必需品（M10）*8 | 不需要 *8 | ||||||||||
| 可选配件 | 气口适配器：KF10 | |||||||||||
外部尺寸
（毫米）
| 一个 | B | C | D | E | ||
| UTM1200A | VG150 | 235 | 439 | 218 | - | 285 |
| ISO160F | 225 | 442 | 218 | - | 285 | |
| UTM1600A | VG200 | 300 | 374 | 218 | - | 285 |
| ISO200F | 285 | 374 | 218 | - | 285 | |
| VG250 | 350 | 374 | 218 | - | 285 | |
| ISO250F | 335 | 374 | 218 | - | 285 | |
| UTM2300A | VG250 | 350 | 376 | 233 | 245 | 310 |
| ISO250F | 335 | 376 | 233 | 245 | 310 | |
| UTM3400A | VG300 | 400 | 462 | 233 | 245 | 360 |
| VG350 | 450 | 462 | 233 | 245 | 360 | |
| ISO320F | 425 | 467 | 233 | 245 | 360 | |
注：排气口、气体排放口、冷却液阀和冷却液阀连接器的位置和相位因型号而异
。详情请参阅规格表。
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