简要描述：ULVAC爱发科VPT‑060涡轮分子泵排气机组VPT‑060 为底座集成式完整干式高真空排气单元，底座平台整合涡轮分子主泵、隔膜式干前级泵、控制模块、阀门与成套管路，整机出厂完成管路装配，到手即可搭建真空系统。整机体积小巧，无油运行，杜绝泵油带来的腔体污染；自带运行状态指示灯，操作简单，法兰规格可按需选配，可直接把腔体从常压抽至高真空，多用于理化实验室、分析检测设备、制药、小型半导体相关试验

优势代理品牌：
ULVAC爱发科VPT‑060涡轮分子泵排气机组ULVAC爱发科VPT‑060涡轮分子泵排气机组

产品特点

1. 整机成套集成，分子泵、隔膜干泵、控制阀、管路、电控全部集成底座，无需自行搭配前级泵与配管，减少现场装配调试工作量。

2. 全干式无油结构，隔膜前级泵不使用泵油，不会产生油蒸气回流，保障腔体内部洁净。

3. 紧凑型底座机身，占用空间小，适合实验台摆放使用。

4. 陶瓷球轴承涡轮分子泵，风冷散热，运行稳定，维护简单。

5. 状态指示灯显示，直观反馈设备运行、故障状态，便于现场监控。

6. 法兰规格可选，标准 ISO63 法兰，可选用 KF‑40 法兰规格适配不同真空管路ULVAC SHOW...。

7. 可选真空计配件，可加装皮拉尼真空计、电离真空计，实现压力实时监测。

8. 合规设计，满足 RoHS 相关要求。

基础性能参数

型号：VPT‑060主泵氮气抽速：60L/s前级泵：DAU‑20 隔膜干泵，20L/min进气法兰：ISO63，可选 KF‑40整机外形尺寸：340mm (W)×340mm (L)×355mm (H)整机重量：17kg极限真空：10⁻⁵Pa 级别电源：单相 AC100V使用环境温度：8‑38℃标配部件：涡轮分子泵、隔膜前级泵、控制单元、阀组管路、底座平台可选配件：皮拉尼真空计、电离真空计、配套真空管路配件ULVAC SHOW...

应用场景

理化科研实验室真空系统；各类分析检测仪器真空排气；制药工艺真空处理；小型试验型半导体相关设备；小型腔体洁净高真空处理。

规格

	50赫兹	60赫兹
极限压力	10 -5 Pa
大量的	17公斤
进气口和排气口	ISO63（可选：KF-40）
工作环境温度范围	8至38摄氏度
最大尺寸	340 毫米（宽）× 340 毫米（长）× 355 毫米（高）
符合RoHS标准	●

*电离真空计、皮拉尼真空计和管道组件为可选配件。
*性能可能因运行条件而异。

尺寸图