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MFES系列-厂商性质
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RIX瑞顾克斯MFES系列半导体多端口旋转接头半导体设备专用多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同时输送真空、压缩空气、超纯水、化学药液等多种介质，适配 CMP 抛光设备、晶圆旋转工作台，可实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、药液供给多路流体同步输送。MFES 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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MF-6P-厂商性质
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86产品描述
RIX瑞顾克斯MF-6P半导体设备旋转接头是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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MF-5P-厂商性质
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80产品描述
RIX瑞顾克斯MF-5P半导体设备旋转联轴器是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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MF-5P厂商性质
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RIX瑞顾克斯MF系列半导体设备旋转联轴器是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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MF-4P厂商性质
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77产品描述
RIX瑞顾克斯MF系列半导体设备旋转联轴器是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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