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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
|---|
FLUORO福乐(Fluoromechanic Co., Ltd.)是专业的半导体晶圆搬运工具制造商。
该设计无电机、传感器、线路等电气部件,不存在电压波动、信号漂移导致的对位偏差,启停动作柔和无冲击,超薄晶圆转运不易打滑、偏移。
整机框架采用导电MC尼龙一体加工,体积电阻率稳定在 10⁶ Ω/cm 标准防静电区间,可实时导走滚轮摩擦、晶圆转动产生的静电荷,杜绝静电吸附颗粒和芯片线路击穿。接触工件的滚轮采用防静电软质聚氨酯,无金属边缘接触硅片;限位挡块选用高刚性导电PEEK,整套接触介质全程导电导通。
核心传动部位搭载封闭式静音滚珠轴承,轴体无直接干摩擦,大幅降低运转产尘量。整机无粘接组装,全部采用插拔式卡扣固定,无胶水析出有机物、金属离子污染晶圆。滚轮、限位挡块均可无工具快速拆装,纯水冲洗即可清除硅粉、药液残留。
FLUORO福乐 MFA-100B 手动平边矫正器 4英寸
FLUORO福乐 MFA-100B 手动平边矫正器 4英寸
设备分为 MFA基础款 和 MFNA加长滚轮主力款 两大系列,尺寸覆盖 2英寸至12英寸 主流晶圆。
| 型号 | 适配晶圆尺寸 | 晶圆规格 | 所属系列 |
|---|---|---|---|
| MFA-50B | 2英寸 | 50mm | MFA基础款 |
| MFA-75B | 3英寸 | 75mm | MFA基础款 |
| MFA-100B | 4英寸 | 100mm | MFA基础款 |
| MFA-125B | 5英寸 | 125mm | MFA基础款 |
| MFA-150B | 6英寸 | 150mm | MFA基础款 |
| MFNA-50 | 2英寸 | 50mm | MFNA加长滚轮款 |
| MFNA-100 | 4英寸 | 100mm | MFNA加长滚轮款 |
| MFNA-125 | 5英寸 | 125mm | MFNA加长滚轮款 |
| MFNA-150 | 6英寸 | 150mm | MFNA加长滚轮款 |
| MFNA-200 | 8英寸 | 200mm | MFNA加长滚轮款(主力机型) |
| MFNA-300 | 12英寸 | 300mm | MFNA加长滚轮款 |
参数来源:
命名区分:MFA-B系列为基础标准款,主打小尺寸2~6英寸晶圆;MFNA系列为加长滚轮强化款,主力机型为8英寸(200mm),市面常用型号为MFNA-200。
以主力机型 MFNA-200 为例:
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 适配晶圆 | 8英寸(200mm)硅片,超薄/厚硅片通用 |
| 整机尺寸 | 宽290 × 深190 × 高143 mm |
| 整机重量 | 1.8 kg |
| 定位精度 | 缺口角度 ±1°以内 |
| 主体框架材质 | 导电MC尼龙(体积电阻率10⁶ Ω/cm) |
| 接触滚轮材质 | 防静电聚氨酯软滚轮 |
| 限位挡块材质 | 高刚性导电PEEK |
| 轴承结构 | 封闭式静音滚珠轴承 |
| 装配方式 | 插拔式滚轮模组,无粘接 |
| 工作温度 | 0~40℃ |
| 耗材 | 聚氨酯滚轮(定期更换) |
参数来源:
该设备在半导体制造全流程中用于晶圆缺口预对准,覆盖以下工序:
| 应用工序 | 具体用途 |
|---|---|
| 晶圆研磨/抛光 | 统一缺口方向,保证研磨纹路均匀 |
| 贴膜工序 | 蓝膜/UV膜贴合前预对准,防止贴膜偏移 |
| 探针测试 | 探针台进料前置定位,提升针测良率 |
| 晶圆切割/划片 | 切割机标准上料角度,减少崩边 |
| 实验室研发 | 2~6英寸小片研发、芯片封装、光学基板定位 |
| 湿法工艺 | 可放置于清洗槽旁、湿制程出料工位使用,耐受稀释酸碱、IPA、显影液等常规药液 |
参数来源:
设备无需外接电源、气源,桌面小型摆放,适配实验室、小型产线工位。
| 需求场景 | 推荐型号 |
|---|---|
| 2~6英寸小尺寸晶圆、实验室研发 | MFA-50B / MFA-75B / MFA-100B / MFA-125B / MFA-150B |
| 8英寸(200mm)标准量产线 | MFNA-200(主力机型) |
| 12英寸(300mm)大尺寸晶圆 | MFNA-300 |
| 需覆盖多尺寸晶圆 | MFNA系列(50~300mm全尺寸覆盖) |
| 超薄晶圆/碳化硅薄片 | MFNA系列(聚氨酯软滚轮柔性贴合边缘) |