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RIX瑞顾克斯MFES-6P半导体多端口旋转接头半导体设备专用多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同时输送真空、压缩空气、超纯水、化学药液等多种介质，适配 CMP 抛光设备、晶圆旋转工作台，可实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、药液供给多路流体同步输送。MFES 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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RIX瑞顾克斯MFES系列半导体多端口旋转接头半导体设备专用多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同时输送真空、压缩空气、超纯水、化学药液等多种介质，适配 CMP 抛光设备、晶圆旋转工作台，可实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、药液供给多路流体同步输送。MFES 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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RIX瑞顾克斯MFES系列半导体多端口旋转接头半导体设备专用多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同时输送真空、压缩空气、超纯水、化学药液等多种介质，适配 CMP 抛光设备、晶圆旋转工作台，可实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、药液供给多路流体同步输送。MFES 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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MFES系列-厂商性质
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RIX瑞顾克斯MFES系列半导体多端口旋转接头半导体设备专用多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同时输送真空、压缩空气、超纯水、化学药液等多种介质，适配 CMP 抛光设备、晶圆旋转工作台，可实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、药液供给多路流体同步输送。MFES 属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
