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FLUORO福乐 MFA-75B 手动平边矫正器 3英寸

简要描述:FLUORO福乐 MFA-75B 手动平边矫正器 3英寸其Notch/Orifla矫正器(亦称晶圆预对准机、缺口寻边器)是一类纯机械手动式晶圆缺口预定位设备,用于在贴膜、研磨、探针测试、切割等工序前,统一晶圆缺口(Notch)或平边(Orientation Flat)的朝向。

基础信息

产品型号

深圳直发

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-08

浏览次数

29
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

FLUORO福乐(Fluoromechanic Co., Ltd.)是专业的半导体晶圆搬运工具制造商。

核心技术
设备采用侧边手轮 + 内置静音滚珠轴承传动结构。人工将单片晶圆放置于聚氨酯滚轮之间,旋转手轮带动滚轮匀速转动,晶圆随滚轮同步旋转。当缺口接触PEEK限位挡块时自动卡滞锁止,快速统一所有晶圆缺口朝向基准。

该设计无电机、传感器、线路等电气部件,不存在电压波动、信号漂移导致的对位偏差,启停动作柔和无冲击,超薄晶圆转运不易打滑、偏移。

整机框架采用导电MC尼龙一体加工,体积电阻率稳定在 10⁶ Ω/cm 标准防静电区间,可实时导走滚轮摩擦、晶圆转动产生的静电荷,杜绝静电吸附颗粒和芯片线路击穿。接触工件的滚轮采用防静电软质聚氨酯,无金属边缘接触硅片;限位挡块选用高刚性导电PEEK,整套接触介质全程导电导通。

核心传动部位搭载封闭式静音滚珠轴承,轴体无直接干摩擦,大幅降低运转产尘量。整机无粘接组装,全部采用插拔式卡扣固定,无胶水析出有机物、金属离子污染晶圆。滚轮、限位挡块均可无工具快速拆装,纯水冲洗即可清除硅粉、药液残留。

  1. FLUORO福乐 MFA-75B 手动平边矫正器 3英寸

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完整型号列表

设备分为 MFA基础款 和 MFNA加长滚轮主力款 两大系列,尺寸覆盖 2英寸至12英寸 主流晶圆。

型号适配晶圆尺寸晶圆规格所属系列
MFA-50B2英寸50mmMFA基础款
MFA-75B3英寸75mmMFA基础款
MFA-100B4英寸100mmMFA基础款
MFA-125B5英寸125mmMFA基础款
MFA-150B6英寸150mmMFA基础款
MFNA-502英寸50mmMFNA加长滚轮款
MFNA-1004英寸100mmMFNA加长滚轮款
MFNA-1255英寸125mmMFNA加长滚轮款
MFNA-1506英寸150mmMFNA加长滚轮款
MFNA-2008英寸200mmMFNA加长滚轮款(主力机型)
MFNA-30012英寸300mmMFNA加长滚轮款

参数来源:

命名区分:MFA-B系列为基础标准款,主打小尺寸2~6英寸晶圆;MFNA系列为加长滚轮强化款,主力机型为8英寸(200mm),市面常用型号为MFNA-200。


核心技术规格

以主力机型 MFNA-200 为例:

项目参数
适配晶圆8英寸(200mm)硅片,超薄/厚硅片通用
整机尺寸宽290 × 深190 × 高143 mm
整机重量1.8 kg
定位精度缺口角度 ±1°以内
主体框架材质导电MC尼龙(体积电阻率10⁶ Ω/cm)
接触滚轮材质防静电聚氨酯软滚轮
限位挡块材质高刚性导电PEEK
轴承结构封闭式静音滚珠轴承
装配方式插拔式滚轮模组,无粘接
工作温度0~40℃
耗材聚氨酯滚轮(定期更换)

参数来源:


半导体与洁净室应用

该设备在半导体制造全流程中用于晶圆缺口预对准,覆盖以下工序:

应用工序具体用途
晶圆研磨/抛光统一缺口方向,保证研磨纹路均匀
贴膜工序蓝膜/UV膜贴合前预对准,防止贴膜偏移
探针测试探针台进料前置定位,提升针测良率
晶圆切割/划片切割机标准上料角度,减少崩边
实验室研发2~6英寸小片研发、芯片封装、光学基板定位
湿法工艺可放置于清洗槽旁、湿制程出料工位使用,耐受稀释酸碱、IPA、显影液等常规药液

参数来源:

设备无需外接电源、气源,桌面小型摆放,适配实验室、小型产线工位。


选型建议

需求场景推荐型号
2~6英寸小尺寸晶圆、实验室研发MFA-50B / MFA-75B / MFA-100B / MFA-125B / MFA-150B
8英寸(200mm)标准量产线MFNA-200(主力机型)
12英寸(300mm)大尺寸晶圆MFNA-300
需覆盖多尺寸晶圆MFNA系列(50~300mm全尺寸覆盖)
超薄晶圆/碳化硅薄片MFNA系列(聚氨酯软滚轮柔性贴合边缘)


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