V‑TEX 真空阀主要类型

1、矩形门阀（狭缝阀 Slit Valve）

-ROLLCAM 标准型：8 寸、12 寸半导体晶圆传输窗口，腔体之间物料传送隔离。‑Twin‑ROLLCAM 双凸轮：大开口，用于 LCD/OLED 面板大基板传输。后缀细分：D 波纹管款、R 逆压款、H 阀体加热款、C 带位置传感器。用途：晶圆 / 基板通行窗口，隔离 Load‑lock、传输腔、工艺腔。

2、Penduroll 摆阀系列（泵口管路阀）

1. IPV 二位摆阀：只有全开、全关，只做管路隔断，用于真空泵与腔体之间通断隔离。

2. 3PV 三位置摆阀：全关‑固定节流‑全开三档位，固定流导调压，不需要控制器。

3. APC 数控摆阀：搭配控制器，连续闭环压力调节，CVD、PVD 用来稳定腔体工艺气压。

3、插板阀 Gate Valve

圆形大口径直通式闸阀，用于主抽气管路、大腔体隔离，大流导，粗抽 / 高真空管路隔断，Mini‑GV 小型插板阀适配小型腔体。

按功能划分

1.传输阀：矩形门阀，用于工件进出腔体；2.隔离阀：IPV 摆阀、插板阀，管路通断隔离；3.压力调节阀：3PV、APC 摆阀，调节腔室压力。

按配置后缀区分

- 波纹管 D：隔绝驱动油脂，半导体工艺必选；‑R 逆压：承受一侧大气一侧真空；‑H 加热：阀体加热，防止工艺粉末冷凝；‑密封：标准 FKM，腐蚀工况选 Kalrez 全氟密封。