V‑TEX APC 压力调节阀（数控摆阀）工作原理

该阀属于流导式真空压力调节阀，不靠减压阀，依靠改变阀门开口大小，调节气体排出流量，以此控制真空腔体内压力，多用于 CVD、PVD 等半导体工艺腔体稳压。

1、阀体本体是 Penduroll 摆阀结构，气动驱动带动阀瓣旋转，阀瓣旋转角度不同，阀门流通开口面积就会变化。2、真空腔体安装压力传感器，实时采集腔体内实际压力数值，信号传给专用阀门控制器。3、控制器把实际压力和工艺设定压力做对比：

• 腔体压力＞设定值：控制器输出信号，开大阀门开度，增大排气流量，把压力降下来；‑ 腔体压力＜设定值：控制器关小阀门开度，减小气体排出，腔体压力回升。4、闭环持续动态调节阀瓣角度，维持腔体压力稳定在工艺目标值。

波纹管结构将气动驱动机构和真空腔体隔开，气缸润滑油不会进入真空内部，保障腔体洁净，低发尘。

3PV 三位置摆阀（简易调压，无控制器）原理

内部机械凸轮，只有三档固定位置：全关、固定节流开度、全开。不能连续调节，只能固定档位，实现粗略节流调压，不需要外接控制模块。

和普通开关真空阀区别

普通开关阀只有全开、全关两种状态，只能做通断隔离；压力调节阀可以停留在任意中间开度，改变排气流导，实现腔体压力控制。

使用关键点

1. 必须搭配真空压力传感器 + 专用控制器组成闭环系统，阀门本体不能单独完成调压。2. 阀瓣表面如果堆积工艺粉末，会改变流导，造成压力控制波动，需要定期清洁。