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MF-3P厂商性质
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75产品描述
RIX瑞顾克斯MF系列半导体设备旋转联轴器是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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MF 系列厂商性质
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69产品描述
RIX瑞顾克斯MF半导体设备多通道旋转联轴器是面向半导体 CMP 化学机械抛光设备开发的多通道机械密封旋转接头。本体集成多路独立流道，可在主轴持续旋转状态下，同步输送真空、压缩空气、超纯水、研磨浆料多种介质，实现晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。MF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产
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EMF-6P厂商性质
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66产品描述
RIX瑞顾克斯EMF半导体设备多通道旋转接头为半导体 CMP 设备专用多通道机械密封式旋转接头。本体集成多路独立流道，可同时输送真空、干燥压缩空气、超纯水、CMP 研磨浆料多种介质，在抛光主轴持续旋转工况下，完成晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。EMF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
产品型号
EMF-5P厂商性质
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51产品描述
RIX瑞顾克斯EMF半导体设备多通道旋转接头为半导体 CMP 设备专用多通道机械密封式旋转接头。本体集成多路独立流道，可同时输送真空、干燥压缩空气、超纯水、CMP 研磨浆料多种介质，在抛光主轴持续旋转工况下，完成晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。EMF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
产品型号
EMF-4P厂商性质
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51产品描述
RIX瑞顾克斯EMF半导体设备多通道旋转接头为半导体 CMP 设备专用多通道机械密封式旋转接头。本体集成多路独立流道，可同时输送真空、干燥压缩空气、超纯水、CMP 研磨浆料多种介质，在抛光主轴持续旋转工况下，完成晶圆真空吸附、破真空供气、工作台冷却、抛光浆料供给多路流体同步输送。EMF 系列属于订单定制产品，无标准现货，根据设备通道、尺寸参数生产。
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