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DZ‑100M-厂商性质
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HORIBA 堀场 DZ‑100M 超薄质量流量计无阀质量流量计 MFM，只有流量检测功能，不带调节阀，无法闭环控制流量。采用压差层流测量原理，机身宽度 10mm 超薄结构，和 DZ‑100 机械尺寸一致，可并排高密度安装。支持 EtherCAT 总线通讯，可在线切换气体种类与满量程，实时读取流量、压力、温度数据。外置电源单元，单台电源最多驱动 4 台模块。接头属于选配配件。
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DZ‑100-厂商性质
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64产品描述
HORIBA 堀场DZ‑100超薄质量流量模块流量计DZ‑100 为压差式超薄紧凑型 MFC，模块宽度仅 10mm，采用压电阀驱动，继承层流压差检测架构，不依赖热丝传感。内部流路死体积小，支持多气体、多量程在线切换，上升响应≤0.4s，搭载 EtherCAT 总线通讯。电源部分独立外置，一台电源盒最多可带动 4 台流量模块，大幅节省气箱安装空间。适配半导体高密度集成气箱，接头属于选配配件。
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D700WR-厂商性质
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73产品描述
HORIBA堀场D700WR 宽量程气体质量流量计D700WR 为 D700 系列宽量程压差式 MFC，搭载全新结构节流元件，实现 0.1‑100% FS 超宽流量调节区间，单台设备可以替代高低流量两台流量控制器。压差式测量结构，不受供气压力波动干扰，原生 EtherCAT 总线通讯，内置完整运行日志记录。阀座采用 PFA 喷嘴结构，泄漏低、微粒析出少，适配高纯工艺气体。机械安装尺寸兼容同系列机型
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D700MG-厂商性质
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128产品描述
HORIBA堀场D700MG多气体高速气体质量流量计多气体高速型压差式 MFC，采用压力不敏感测量架构，摒弃热丝传感。依靠 EtherCAT 总线可在线切换气体种类与满量程参数，设备端直接完成配置修改，无需拆回设备校准。搭载 MRMG 小流量分档功能，上升响应≤100ms，多台模块之间流量一致性好。阀座采用 PFA 喷嘴结构，泄漏低、微粒析出少，兼容多种高纯、腐蚀性工艺气体。机械安装尺寸兼容前代机
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D700T-厂商性质
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92产品描述
HORIBA堀场D700T气体质量流量计旗舰高性能压力不敏感 MFC，采用压差式流量测量，搭配双阀结构与优化控制算法，全区间上升、下降稳定时间≤100ms。为单气体配置，重复性与控制精度表现优异，工作温度范围更宽，搭载 EtherCAT 总线通讯，内置多维度故障诊断功能。阀座采用 PFA 喷嘴结构，泄漏低、微粒析出少，适配严苛的半导体关键制程。机械安装尺寸兼容前代机型，接头属于选配配件。
